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涡轮泵

我们关心可持续发展,并致力于确保我们所做的事情以及我们做事的方式变得更加可持续。在环境影响因素的推动下,我们在产品设计中做出了几项重大的改变。高效利用资源对于我们的产品设计和开发至关重要,它降低了客户的购置成本,并致力于确保我们所做的事情以及我们做事的方式变得更加可持续。

新一代产品减少碳排放

主泵

在半导体行业中,工艺泵是工艺设备上最大的能源用户之一,其能耗占整个半导体制造厂能耗的三分之一以上(SEMATECH 能源研究数据)。全球范围内已安装的半导体真空泵所消耗的能源相当于英国谢菲尔德市或美国德克萨斯州普莱诺市的能源总量。因此,降低客户在半导体行业中的能耗至关重要。

我们的产品设计在节约能源和降低公共服务成本的同时,不会影响产品可靠性。借助平台设计流程,我们的每一代主泵消耗的能源都变得更少。例如,新一代干式泵消耗的能源比前代产品少 30% 左右。现在,随着“主动式公共服务控制”(AUC) 的推出,当泵空闲时,该工具将发出信号进一步降低能源和公共服务的消耗。

我们确保我们确保最新一代的平台技术优势能够应用到我们整个泵产品系列中。这些优势将通过Edwards的能效提升项目提供给使用旧一代泵的客户。

我们还就如何尽可能地降低设备能耗为客户出谋划策。

次级泵

减少全球能源消耗是应对全球变暖的关键所在。除了尽可能地减少我们的生产设施和办公处所消耗的能源之外,我们的新一代涡轮分子泵系列还能让我们的客户实现其节能目标。Edwards 制定了升级计划,旨在使客户顺利改用节能的涡轮分子泵技术。

例如,由油扩散泵改用 STP 涡轮分子泵的优势:

  • 降低公共服务成本(电力和水)
  • 无需年度维护或换油
  • 提高抽吸性能
  • 环境噪音非常低,振动小
  • 减少空间需求

减排

半导体制造工艺使用的气体,如全氟碳化合物和六氟化硫,由于其持久性和高全球变暖潜能值(GWP),引起了人们对环境的高度关注。这些物质的全球变暖潜能值可能是二氧化碳的数千倍。例如:如果二氧化碳在100年内的全球变暖潜能值(GWP)为1,那么在同一时间段内,六氟化硫的全球变暖潜能值为23500,三氟化氮的全球变暖潜能值为16100,四氟化碳的全球变暖潜能值为6630(来源:政府间气候变化专门委员会第五次评估报告,2014年)。

自上世纪九十年代中期以来,我们一直在利用我们的燃烧减排技术帮助客户高效地销毁并去除这些物质。近来,借助等离子技术,我们的客户能够在整个工厂实现 90% 以上的二氧化碳减排,这符合世界半导体理事会的减排目标。为了生产平板显示器以及太阳能电池板和 LED 照明等新兴的环保设备,我们开发了 Spectra Z 和 Spectra G 减排系统,以应对更高的气流应用。

我们的阿特拉斯减排产品使用的燃料比前代产品系列减少了多达 50%。针对前代减排产品,Edwards 还提供阿特拉斯升级技术。我们还通过组合使用泵和减排系统并应用创新的“空闲模式”技术,来实现节能。