終生服務

增加對老化泵組可靠性的信心

減少意外停機

時光逆轉

終身服務致力於主動提高舊式半導體真空泵浦的穩定性。終生服務從組件級別替換泵浦輔助系統中的重要電子零件。

受益於對系統關鍵電子零件的更高保固保證,以涵蓋所有其他組件。