愛德華坐落於英國的生產設施,數十年來持續製造與設計真空測量產品。我們憑藉豐富的經驗,開發出一系列新型儀錶,封裝尺寸減少 25%,效能卻分毫未減。
具備各式升級與功能強化,包括清楚可見的 LED 環型壓力指示燈與設定點繼電器,讓您觸發各種不同的連鎖動作。
主動式 Pirani 真空計 (APG200) 適合所有真空市場,包括有利於搭配分析儀器使用的較小尺寸和靈活輸出、全新介面和環型燈更適合用於半導體系統維護,而局部壓力指標有助於研發人員在離開主要工作介面的狀況下監控實驗。
主動式 Pirani 真空計 (APG)
主動式倒置磁控管真空計 (AIM)
主動式倒置磁控管 (AIM200) 真空計可在 1 x 10-2 至 1 x 10-9 mbar 的真空範圍內提供準確的測量結果。這款真空計在從科學儀器到工業製程等各種不同應用均堅固可靠。
AIM200 真空計是一款結合了倒置磁控管真空計量規頭與量規控制器的精巧裝置,具有非常低的外部磁場,並搭配改良式衝擊機制,非常適合與靈敏的分析儀器搭配使用,或是應用在需要將真空計安裝在敏感設備附近的情況。
寬量程真空計 (WRG200) 能夠在常壓至 10-9 mbar 範圍內進行單埠壓力測量,不僅涵蓋初始製程室抽氣,還能一次處理所有製程壓力。
WRG200 真空計採用最新 Pirani 燈絲與冷陰極技術,在從科學儀器、半導體到工業製程等各種不同應用均堅固可靠。WRG 是一款多功能真空計,可讓您善用從粗真空感測器自動切換到高真空感測器的優點,更具有低雜散磁場,確保周圍環境不受干擾。
寬量程真空計冷陰極/Pirani (WRG)
主動式線性對流真空計 (APGX-H)
主動式線性對流真空計 (APGX-H) 具有從 1333 至 3 x 10-4 mbar 的寬廣測量範圍。相較於傳統 Pirani 真空計,採用對流技術可確保直到壓力範圍頂段都能維持精確度和靈敏度,而傳統真空計在高於 100 mbar 時便會損失精確度。這款真空計體積輕巧,並能以任何方向安裝,從而在空間有限之處簡化了安裝。
主動式離子真空計 (AIGX) 是一款輕巧的主動式離子真空計,具備雙氧化釔塗佈銥燈絲、從 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar 的寬廣測量範圍,以及 1 伏特/十進制線性輸出。AIGX 結合業界標準主動式真空計測量概念的所有優點,採用整合式電子裝置和可更換管件。這款真空計具備除氣設施,並且包含可保護並延長燈絲壽命的功能。AIGX 受益於極低的帶電粒子排放量,使其成為想要避免背景雜訊之製程的絕佳選擇。
主動式離子真空計 (AIGX)
主動式熱陰極寬量程真空計 (WRH)
主動式熱陰極寬量程真空計 (WRH) 讓您僅使用一款真空計,便可測量常壓至 10-10 mbar 的範圍,兼具準確性和可重複性。WRH 真空計運用 2 種測量方法 (Bayard Alpert & Pirani),一次給您測量與控制系統所需的一切。利用 D-SUB 接頭提供類比與 RS485 輸出,2 個內建繼電器有助於輕鬆校準,控制與監控再簡單不過。
您可以利用隨附軟體輕鬆追蹤和記錄系統效能,也可以調整真空計運作,例如指定設定點或變更輸出比例。這款真空計是許多應用的完美良伴,適合研發機構、高階質譜儀到一般工業用途。