Your browser is not supported

您正使用我們不再支援的瀏覽器。如要繼續瀏覽我們的網站,請選擇以下任一支援的瀏覽器。

殘存氣體分析儀

在高端效能與取用性的方面取得完美平衡

愛德華 RGA 殘存氣體分析儀

我們的全新 RGA 包含兩種機型:PRA 與 WRA,兩者都具有簡單有效的操作,可確保其性能與效率上的優異  

對於需要快照視圖的用戶,這些裝置具有獨特的機載顯示螢幕,無須透過筆記型電腦進行連接的情況下,可以顯示主要的氣體類型以及系統的整體壓力。

PRA 主要殘存氣體分析儀

愛德華 PRA RGA 實現高階性能與可及性之間的完美平衡。

可在四種機型上使用,以符合您的製程需要,不論您只需要基本機型,或是需要更高靈敏度/範圍的產品,PRA 都是分析您製程的理想起點。

WRA 各式殘存氣體分析儀

愛德華 WRA RGA 擁有領先市場的規格,是我們的頂級機型。

提供兩種機型:1-200 或 1-300 amu,讓您可測量來自製程的多種氣體/副產物。

相較於 PRA,它具有更高的靈敏度,因此可以提高測量準確度。

/
  • 獨享優勢
  • 應用與市場
  • 文件
獨享優勢
總壓力測量

完整製程控制

雙燈絲

高可靠性與正常運行時間

在設備螢幕顯示上

基本量測是不需個人電腦 PC

客戶可更換零件
除氣功能
離子源和 EM 防護
應用與市場
RGA 可分析氣體及其化合物,為以下製程所需:

  • 測漏檢測與識別
  • 尋找並識別污染物 
  • 驗證氣體純度
  • 產品/製程品質保證
  • 製程與設備診斷與控制
  • 優化製程效能與產出

廣泛範圍應用的完美解決方案:

  • 半導體製程
  • 薄膜與顯示器
  • 真空熱處理
  • 真空冷凍乾燥
  • 研究與開發
  • 高能物理

文件
總壓力測量

完整製程控制

雙燈絲

高可靠性與正常運行時間

在設備螢幕顯示上

基本量測是不需個人電腦 PC

客戶可更換零件
除氣功能
離子源和 EM 防護
RGA 可分析氣體及其化合物,為以下製程所需:

  • 測漏檢測與識別
  • 尋找並識別污染物 
  • 驗證氣體純度
  • 產品/製程品質保證
  • 製程與設備診斷與控制
  • 優化製程效能與產出

廣泛範圍應用的完美解決方案:

  • 半導體製程
  • 薄膜與顯示器
  • 真空熱處理
  • 真空冷凍乾燥
  • 研究與開發
  • 高能物理