MaxCool 4000 H 低溫製冷器

具有最大抽水速度,以提高吞吐量

水蒸氣抽氣

水蒸氣通常是存在的反應性最強的污染物。使用 MaxCool 低溫製冷器,您可以期望將現有系統中的產品流通量提高 20% 至 100%,並提高沉積品質。

MaxCool 優勢

  • 減少高真空抽氣時間高達 75%
  • 水蒸氣高抽氣速度︰ 工作空間中為 10,000 至 220,000 l/s
  • 產品流通量提高了 20% 至 100%
  • 在加工過程中降低水蒸氣分壓,從而獲得更高的薄膜品質、更好的附著力和更穩定的沉積
  • 在成本/效能方面優於以液氮冷卻的 Meissner
  • 藉助電源管理將擁有成本降至最低
  • 適用於各種製程的高容量冷卻和加熱

當加入您的真空系統中時,MaxCool 低溫製冷器可以大大減少抽氣時間並提高產品流通量。MaxCool 將在「啟動」後的幾分鐘內抽氣水蒸氣,並能在不到四分鐘的時間內解凍,從而提供真正的快速循環能力。它還有一個稱為「快速冷卻」的選項,避免了解凍後的等待時間。對於您的系統,這意味著每個輪班將有更多的生產週期。

MaxCool 使用獲得專利的 Polycold® 製冷劑混合物,按照 Meissner 捕集原理工作。水蒸氣透過冷凝在稱為 Meissner 盤管的低溫冷卻表面上而被捕集。Meissner (低溫盤管) 直接安裝在真空室中,因此傳導性不受端口、歧管、閥門和擋板的限制。低溫盤管易於安裝,可以適應任何系統。

它不需要高真空閥。

MaxCool 低溫製冷器是您可以加入任何擴散泵浦、渦輪泵浦或氦低溫泵浦系統中並最具成本效益的升級產品。

MaxCool 低溫製冷器符合歐洲應用製冷劑 (EC 1005/2009)、《蒙特利爾議定書》和美國 EPA SNAP。

優點

  • -98 至 -133C (183 至 140K)
  • 以 4000 瓦的功率散熱
  • 在速度高達 220,000 l/s、真空度達到 5 x 10-8 torr (7 x 10-8 mbar) 的真空系統中低溫冷凝水蒸氣
  • 理論最大抽吸速度為 328,000 l/s
  • 可選快速冷卻,提高生產力
  • 提供電源管理選項,可將擁有成本降至最低
  • 溫度控制
  • 獲得專利的環保充注製冷劑在全球範圍內合規、無毒且不易燃
  • 基於經 Polycold 驗證、創新、可靠的混合氣體製冷
  • 符合 EU PED 和 MD
  • TUV Rheinland 符合 NRTL/CANADA 安全標準
  • ISO 9001:2008 原廠認證製造商