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愛德華的 MaxCool 低溫製冷器系列

MaxCool 低溫製冷器

解決挑戰的設計

快速達到更低的真空水準

這些低溫製冷器可將水蒸汽和其他可凝物質冷凍至如低溫盤管或 V 形擋板的冰冷表面,來捕獲水蒸汽。MaxCool 低溫製冷器也用於冷卻與加熱用於半導體晶圓處理的物體,例如靜電吸盤。我們系列中不同的機型提供 2,000、2,500 或 4,000 瓦的冷卻效用。

水蒸汽抽氣

水蒸汽一般是高真空系統中存在的最具反應性的汙染物。您可透過我們的 MaxCool 低溫製冷器,讓現有系統中的產品吞吐量提高 20% 到 100%,並改善沉積品質。

MaxCool 優勢

  • 高真空抽氣時間最多降低 75%
  • 產品吞吐量提高 20% 至 100%
  • 降低處理期間的水蒸汽分壓,因此薄膜品質更高、附著力更佳且更能重現沉積作用
  • 與使用液態氮冷卻的麥士納 (Meissner) 裝置相比,成本效益比更為優異
  • 透過電力管理將持有成本最小化
  • 適用於各式各樣製程的高容量冷卻和加熱

愛德華 Polycold MaxCool 低溫製冷器

MaxCool 低溫製冷器加裝至您的真空系統時,能夠大幅降低抽氣時間並提高產品產能。MaxCool 將在啟動的數分鐘內抽吸水蒸汽,並在不到 4 分鐘內除霜,因而提供真正的快速循環功能。本產品也備有快速冷卻 (Rapid Cool to Cool) 選項,可消除除霜後的等候期間,因此您的系統每個工班能夠執行更多生產循環。

我們的 MaxCool 低溫製冷器採用獲得專利的 Polycold® 冷媒混合物,以麥士納 (Meissner) 捕獲原理運作。透過低溫冷卻表面 (稱為麥士納盤管) 上的冷凝作用捕獲水蒸汽。麥士納裝置 (低溫盤管) 直接安裝於真空腔體中,因此傳導不會受限於汽門口、歧管、閥門和擋板。低溫盤管安裝簡易,經過調整可以安裝於任何系統。無需使用高真空閥。

MaxCool 低溫製冷器是您可加裝至任何擴散泵、渦輪泵或氦氣低溫泵系統的最經濟實惠升級。

MaxCool 低溫製冷器符合歐洲應用冷媒 (EC 1005/2009)、蒙特羅議定書和美國 EPA SNAP 標準。

優點

  • 透過快速冷卻選項提高生產力
  • 將持有成本最小化的電力管理選項
  • 溫度控制
  • 獲得專利的綠色冷媒充填符合全球標準,無毒、不可燃
  • 以 Polycold® 經過實證、創新、可靠的混合氣體製冷為基礎
  • 符合歐盟 PED 與 MD
  • 德國萊茵認證至 NRTL/加拿大安全標準
  • ISO 9001:2008 認證製造商

MaxCool 機型規格

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

最大冷卻能力

2,000 W

2,500 W

4,000 W

最大冷卻能力的溫度

-111 °C

-120 °C

-98 °C

最低溫度

-142 °C

-145 °C

-133 °C

最終操作壓力 (25% 最大抽氣速度)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

典型冷阱區域

1.1 m2

1.4 m2

2.2 m2

來自典型冷阱區域的最大水蒸汽抽氣速度

163,900 l/s

208,600 l/s

327,800 l/s

保守的最大冷阱區域*

1.5 m2

2.0 m2

2.8 m2

耗電量 (待機模式)

5.5 kW

11.4 kW

12.0 kW

耗電量 (冷卻模式,典型負載)

6.2 kW

13.9 kW

12.4 kW

耗電量 (冷卻模式,最大負載)

8.8 kW

19.2 kW

19.2 kW

13 °C 的冷卻水流量

6.8 l/min

15.1 l/min

15.1 l/min

18 °C 的冷卻水流量

9.1 l/min

18.2 l/min

18.2 l/min

24 °C 的冷卻水流量

13.6 l/min

27.3 l/min

27.3 l/min

29 °C 的冷卻水流量

27.6 l/min

54.1 l/min

54.1 l/min

符合歐洲 PED

無毒冷媒

不可燃冷媒

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