Spectra 排氣管理系統是具有成本效益、可靠和高效能的減排解決方案，適用於最新一代平面顯示器 (FPD) 和太陽能電池製程。
廢氣處理
• 獨特的 4 級燃燒技術
• 高效的 SiH4 減排
• 高 H2 流量減少能力
• 出色管理 NF3/F2 的高流量
• 高 NH3 減排能力
• 減排和顆粒物管理的模組化設計
• 除粉效率達 80%
酸性氣體洗滌
• 整合式濕式洗滌器
• 水循環裝置，可優化耗水量
粉末捕獲
Spectra ZW2 – 水冷式廢氣處理與顆粒物去除
• 模組化濕式靜電除塵器 (WESP)
• 顆粒物去除率達 99%
• 高粉末裝載處理能力
• 相對於替代解決方案，擁有成本低
