Spectra

Spectra - 滿足您的環保需求

廢氣處理

• 獨特的 4 級燃燒技術

• 高效的 SiH4 減排

• 高 H2 流量減少能力

• 出色管理 NF3 / F2 的高流量

• 高 NH3 減排能力

• 減排和顆粒物管理的模組化設計

• 除粉效率達 80%

酸性氣體洗滌

• 整合式濕式洗滌器

• 水循環裝置,可優化耗水量

粉末捕獲

Spectra ZW2 – 水冷式廢氣處理與顆粒物去除

• 模組化濕式靜電除塵器 (WESP)

• 顆粒物去除率達 99%

• 高粉末裝載處理能力

• 相對於替代解決方案,擁有成本低 在此處為我提供最新情況