Atlas

ATLAS - 無與倫比的廢氣處理效能

Atlas 廢氣處理技術︰ 一系列燃燒式廢棄處理解決方案 - 針對您的製程而設計:

  • 適用於常見 CVD 氣體 (NF3 / F2) 的 Atlas TCS
  • 適用於 CVD 製程中 PFC 氣體 (ClF3、C2F6、C3F8) 的 Atlas TPU
  • 適用於下一世代製程中低 k CVD 氣體的 Atlas Kronis
  • 適用於半導體蝕刻和面板顯示製程 (CF4、SF6 和高流量全氟化合物) 的 Atlas Etch
  • 適用於 EPI 和 MOCVD 中安全處理氫氣製程的 Atlas Helios

與上一代的氣體減排裝置相比,Atlas™ 系統的燃料消耗低。我們使用成熟的 Alzeta™ 內燃式燃燒器技術來顯著降低擁有成本。Atlas 系統具有一至六個進氣口,並提供多種配件,包括溫度管理系統 (TMS),可處理的流量高達 1,200 slm。它們被設計為易於使用,並能夠進行更有效的維護。

愛德華的內燃式燃燒技術

自 1994 年以來,內燃式燃燒器已被大多數主要的半導體製造商所採用,已成為氣體減排的世界標準。

我們獨特的燃燒技術在均勻的燃燒溫度下運行。這樣可確保極低的背景排放,並且氣體的向內流動可防止製程材料與腔體壁接觸,從而最大程度地減少了固體阻塞。燃燒器材料的獨特成分可確保卓越的耐腐蝕性,並有助於為 Atlas 提供無與倫比的可靠性和安全性。

在我們先進的環境創新中心,我們經過流程調整的解決方案可實現出色的效能,並經過現場驗證和第三方驗證。減排 DRE 通常不僅僅局限於全球和地方法規:

    TLV 以下的 SiH4 和其他鹵化物

    NF3︰ >99% / <TLV

    F2︰ : >99% / <TLV

    CF4︰ >90%

    其他全氟化合物︰ >99%

憑藉廣泛的裝機使用群、無與倫比的全球應用團隊和服務支援,我們可以提供專為您的流程需求設計的最佳解決方案。與我們的團隊聯絡,我們可以共同努力以實現最終解決方案。