Atlas 提供無與倫比的廢氣處理效能
Edwards 的 Atlas™ 具有出色的可靠性、極佳的粉體處理能力和耐腐蝕性，可為半導體、平面顯示器與太陽能和 MOCVD 產業提供廢氣處理的效能。
Atlas 廢氣處理技術︰一系列燃燒式廢氣處理解決方案 - 針對您的製程而設計：
- 適用於常見 CVD 氣體 (NF3/F2) 的 Atlas TCS
- 適用於 CVD 製程中 PFC 氣體 (ClF3、C2F6、C3F8) 的 Atlas TPU
- 適用於下一世代製程中低 k CVD 氣體的 Atlas Kronis
- 適用於半導體蝕刻和平面顯示器製程 (CF4、SF6 和高流量 PFC) 的 Atlas Etch
- 適用於 EPI 和 MOCVD 中安全處理氫氣製程的 Atlas Helios
與前一代的廢氣處理裝置相比，Atlas™ 系統的燃料消耗量更低。我們使用經實證的 Alzeta™ 內燃式燃燒器技術，以大幅降低擁有成本。Atlas 系統具有一至六個進氣口，並提供多種選配，包括溫控系統 (TMS)，可處理的流量高達 1,200 slm。設計簡單易用，維護時更有效率。
愛德華的內燃式燃燒技術
自 1994 年以來，內燃式燃燒器已被大多數主要的半導體製造商所採用，已成為氣體減排的世界標準。
我們獨特的燃燒技術會在均勻的燃燒溫度下運作。這可確保極低的背景廢氣排放，而且氣體的向內流動可防止製程材料與腔體壁接觸，將固體造成的阻塞降至最低。燃燒器材質的獨特成分能確保卓越的耐腐蝕性，進而提供 Atlas 無與倫比的可靠性和安全性。
在我們先進的環境創新中心，我們經過流程調整的解決方案可實現出色的效能，並經過現場驗證和第三方驗證。減排 DRE 通常不僅限於全球和地方法規：
TLV 以下的 SiH4 和其他鹵化物
NF3：>99%/
F2：>99%/
CF4：>90%
其他 PFC：>99%
憑藉廣泛的裝機使用群、無與倫比的全球應用團隊和維修支援，我們能夠針對您的製程需求量身打造最佳解決方案。與我們的團隊聯絡，共同努力以實現最佳解決方案。
