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E2M 40-275 旋片式真空泵

E2M 40-275 旋片式真空泵

专为长期可靠运行而设计

坚固耐用的机械油封旋片式真空泵,其设计久经考验,坚固耐用

可靠的设计和技术

久经考验的设计,投放市场 30 多年。内置滤油功能,源自用后舍弃式机油滤清器和强制机油润滑,可确保泵机构在任何进口压力下都能高效、轻松地运行。

ATEX 型号,符合防爆要求

E2M Ex 系列可在有爆炸隐患的环境中泵送或运行。Edwards 可以提供多种适用于爆炸危险环境的产品。这些产品均已获得 ATEX 认证和其他适用的全球标准认证。

获取适合您需求的产品系列

HC 系列(烃油润滑)适用于大多数应用,FX 系列用于泵送富氧气体混合物(预制 PFPE 润滑),AZ 系列用于泵送化学活性物质(兼容叠氮化物)。

E2M 275 配合 EH 增压泵使用
E2M 与 EH 增压泵组合


  • 将 E2M 与 EH 增压泵结合使用,可获得更高的泵送速度和更高的极限压力。
  • 我们独特的泵送系统 EM275/EH4200 提供超快的抽吸速度,可在极低的压力下快速抽空大型腔室。

  单位 E2M 40 E2M 80 E2M 175 E2M 275
排量上限值 (50Hz) m3h-1 42.5 80 175 292
排量上限值 (60Hz) m3h-1 50.5 96 214 350
抽取速度 (50 Hz) m3h-1 37 74 160 170/100
抽取速度 (60Hz) m3h-1 44 90 196 306
无气镇时的极限总压力 mbar 3.0E-03
带气囊时的终极真空度 mbar 5.0E-03
进气口连接 ISO-F / NW 40  40  63 63 
排气口连接 NW 25 25 40  40
最大允许出口压力 bar (g) 0.5
水蒸汽容差上限值 mbar 7 5 4 (20*) 2 (12*)
水蒸汽容差上限值 kgh-1 0.2 0.3 2.4 2.5
气镇流量上限值 m3h-1 1.7 1.4 3 3
外形尺寸 (LxWxH)  mm 780x240x395 889x266x429 1055x388x533 1165x388x533
重量近似值 Kg 75 104 198 216
电动机防护等级 IP 55
电动机额定功率 (50Hz) kW  1.1 2.2 5.5 7.5
电动机额定功率 (60Hz) kW  1.5 3 6.5 8.5
噪音级别 (50Hz)  dB(A) 65 75
加油容量(上限值) l 2.2/4 4/6.3 16/25 18/28
推荐油液 Ultragrade 70

  • 制药冷冻干燥
  • 镀膜
  • 等离子体处理(包括使用 FX 系列泵送富氧等离子体)
  • 热管散热
  • 热处理
  • 化学加工行业(使用 Ex 系列进行蒸馏、蒸发、混合、过滤)

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