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IDX 干式螺杆真空泵

面向工业流程的快速抽空和高容量抽送

IDX 干式螺杆真空泵

用于冶金、镀膜和脱气的双头螺杆技术

Edwards IDX 真空泵旨在降低能源成本、清除废水并显著提高产品质量,使其成为脱气、镀膜和冶金等多种工艺的理想选择。

用于大腔室的出色抽空能力

IDX 使您能够以更大的容量处理能力快速达到目标压力,可在低压下实现更高的气体负载。

提高性能和可靠性

IDX 具有强固的工业机制,以实现可靠、可重复的性能。能够从大气快速抽至极限真空,并在低压下实现出色的处理能力是该泵的一种重要特征。这种高效率还能带来运营成本的降低。

环保

IDX 旨在帮助您提高可持续生产力,有效清除废水,改善对整体环境的影响。

便于维护

IDX 的设计便于操作,因此可在现场进行日常维护工作,包括更换油过滤器、轴承和密封件。

可系统化定制,以满足您的需求

IDX 配备标准附件模块,并提供一系列标准套件,以满足您的具体需求,而且机械增压器的工作能力高达 30,000 m3/hr。您还可以为 IDX 配置排气增压级,以便快速抽空。

定子加工工艺,带一体式顶板

  • 改进公差,提升泵送效率 
  • 采用无压缩板设计,可更好地处理灰尘和液体

间接冷却回路

  • 良好的热控制,提高可靠性 
  • 允许使用普通冷却水 
  • 确保沿泵温度均匀分布,消除冷点和热点

  单位 IDX1000 IDX1300
质量      

50 Hz

kg (lb) 1560 (3439) 1590 (3506)

60 Hz

kg (lb) 1630 (3594) 1660 (3660)
泵速    

标称

m3hr(cfm) 1000 (589) 1300 (766)

实际时间

m3hr1 (cfm) 900 (560) 1250 (736)
极限压力 mbar (Torr) 5 x10-2 (3.75 x 10--2) <5 x10-2 (3.75 x 10-2)
噪音 dB(A) 82 82
电机 kW (hp) 30 (40) 可选 - 22 (30) 30 (40)
Edwards employees standing in corridor smiling
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