扩散泵

新一代高处理能力扩散泵

适用于苛刻工业应用的理想解决方案

性能稳定性

优化的抽取速度和稳定的高处理能力是镀膜、冶金、热处理和研发等关键应用的理想选择。

性能可靠,提高生产力

智能温度控制和板载传感器确保负载最小,使加热器和油的使用寿命更长。非磨损部件和易更换加热器滤芯确保维修和维护服务的时间间隔更长。

能效控制器

能效控制器使设备易于使用且操作方便,并可通过 USB 和以太网接口对设备进行有效监控。创新的加热设计可缩短预热时间,节省高达 30% 的能源。

技术规格

    NHT20 NHT35
    ANSI ISO ANSI ISO
入口连接   20" ANSI 60 ISO-K 35" ANSI 1000 ISO-K
泵组接口   4" ANSI 160 ISO-K 6" ANSI 200 ISO-K
抽取速度*
氮气<10-4mbar
l/s 10,000 30,000
抽速
氩气 <10-4 mbar
l/s 9,000 26,000
抽速
氦气 <10-4 mbar
l/s 17,000 42,000
气体处理能力 mbar l/s 18 33
工作范围 mbar <10-2 - 5 x 10-7 < 10-2 - 5 x 10-7
极限压力 (Edwards 704) mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7
临界前级压力 (Edwards 704) mbar 5 x 10-1 5 x 10-1
加热功率 kW 10.8 21.6
加热滤芯 数量 9 18
预热期 分钟 < 25 < 30
重量 kg 210 720
推荐用油   Edwards 704 Edwards 704
l 5.5-7.0 9.0 - 11.00
用最小的前级泵排量实现最大处理能力 m3h-1 135 250
推荐的前级泵   GXS160, E2M175 GXS250, E2M275

知识与见解

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