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扩散泵

扩散泵

新一代高处理能力扩散泵

适用于苛刻工业应用的解决方案

性能稳定性

优化的抽取速度和稳定的高处理能力是关键镀膜、冶金、热处理和研发应用的理想选择。

性能可靠,生产率提高

智能温度控制和车载传感器确保加热器和机油具有最小负载和更长的使用寿命。非磨损部件和易于更换的加热器滤芯可确保延长维修和维护之间的间隔时间。

能效控制器

能效控制器易于使用,操作方便,带有 USB 和以太网接口,可进行有效监控。创新型加热设计提供更快的预热时间,并可节省高达 30% 的能源。

技术规格

    nHT10 nHT16 nHT20 nHT32 nHT35    
    ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI ISO
进气口连接    10˝ ANSI  320 ISO-K  16˝ ANSI 500 ISO-K 20˝ ANS 630 ISO-K  32” ANSI 800 ISO-F 35˝ ANSI 1000 ISO-F
前级接头   2˝ ANSI 63 ISO-K 3” ANSI  100 ISO-K 4˝ ANSI 160 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K
抽取速度*
氮气 <10-4 mbar
l/s 3000 6,800 10000  21,000 30,000
泵速
氩气 <10-4 mbar
l/s 2,750 6,350 9000 18,000 26,000
泵速
氦气 <10-4 mbar
l/s 4500 9,500 17000 30,000 42,000
气体处理能力 mbar l/s 8 11 17 36 36
工作范围 mbar < 10-1 至 10-7 < 10-1 至 10-7 < 10-1 至 10-7 <10‐2 至 10‐7 < 10-2 至 10-7
极限压力
(Edwards 704)
mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7  < 5 x 10-7 < 10‐6  < 10-6
临界背压
(Edwards 704)
mbar 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1
加热功率 kW 3.6 7.2 10.8 21.6 21.6
加热滤芯 数量 3 6 9 18 18
预热期 分钟 < 15 < 15 < 25 < 25 < 25
重量 kg 105  185 210 570 720
推荐油液   Edwards 704
润滑油 l 3.0-4.0 3.5-4.5 5.5-7.0 9.0-11.0 9.0-11.0
推荐的保持泵   E2M40 E2M40 E2M40 E2M80 E2M80
推荐前级泵   nES200、E2M80、
EDS200、EH1200
nES200、E2M175、
EDS200、EH1200 
nES300、E2M175、
EDS300、EH1200
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600

知识与见解

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