STP 磁悬浮涡轮分子泵

低振动,零维护

腔体解决方案

如果您需要稳定、可靠的性能以及零维护,我们的 STP 磁悬浮涡轮分子泵系列为您树立了标准。转子完全由磁悬浮轴承悬起 —— 非常适合要求运行时间长、无烃式真空、维护少且振动低的应用。

Advanced 高处理能力系列

Advanced 系列可提供高水平的处理能力,非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 制程:

  • 占地面积小
  • 处理速度从 300 l/s 至 4500 l/s
  • 处理能力高达 6 slm,并提高了 H2、N2 和 Ar 性能。

这种多合一的涡轮泵解决方案消除了常规所需的连接电缆和机架:

  • 减少了占地面积,可节省宝贵的厂房面积、安装时间和成本
  • On-board 电源在高气体流量下将能耗降低达 32%
  • 以 300 l/s 至 4500 l/s 的处理速度运行。

超高真空系列提供无与伦比的可靠性、性能、清洁度和一流的低振动水平。

  • 直流电源,无需电池
  • 半机架控制器具有自动调整和高级诊断功能
  • 速度从 300 l/s 至 1000 l/s,极限压力 <10-10 mbar,CF 法兰
  • 还提供用于严苛制程的“C”型号

超高真空低振动型号结合了超高真空系列的所有功能,加上内置的隔振器,可为您带来超低振动性能。