On-board IS 低温泵

创新的低温技术带来高效率

无与伦比的真空性能和能效

 获得专利的分布式控制系统可监控并不断调整低温泵系统的各个元件,以保持最佳的全系统真空性能,从而实现出色的制程一致性。On-Board IS 低温泵在当今可用的低温泵系统中正常运行时间最长、生产率最佳且总体使用成本最低,该产品由 Brooks 具有高度响应能力的全球服务和支持网络提供支持。

主要特征

 
  • 获得专利的分布式控制系统可监控并不断调整低温泵系统的各个元件
  • 保持一流的全系统真空性能,提供出色的制程一致性
  • 单泵和多泵配置中再生最快
  • 低能耗、低冷却水消耗,不影响真空性能
  • 易于系统集成
  • 快速的生产安装
  • 增强的远程监控功能,可进行预防性和预测性维护

On-Board® IS 320FX 低温泵,专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发,可提高氢气抽取速度和容量,同时还能保持所有您对 On-Board® IS 320FE 低温泵所期望的质量、性能和可靠性优势。 

  • 专为离子注入应用而设计
  • 针对工具处理能力进行了优化
  • 智能的“自我调节”技术
  • 更低的拥有成本
  • 增加正常运行时间

 

On-Board® IS XP 低温泵可为 PVD 应用提供更大的容量,从而在保持制程透明度的同时实现最高的生产率。同时,它具有成熟的能效、稳定的性能和较低的拥有成本,这些都是您期望从 On-Board® IS 得到的。 

  • 提供容量余量以用于将来的制程改进
  • 更低的拥有成本
  • 增加的正常运行时间
  • 智能的“自我调节”技术以实现稳定的真空性能