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Edwards On-board IS 低温泵

On-board IS 低温泵

创新的低温技术带来高效率

无与伦比的真空性能和能效

获得专利的分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件,以保持卓越的全系统真空性能,从而实现出色的流程一致性。在当今可用的任何低温泵系统中,On-Board IS 低温泵的正常运行时间更长、生产率更佳且总拥有成本更低,该产品由 Edwards 响应敏捷的全球服务和支持网络提供支持。

 

主要特点

  • 获得专利的分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件
  • 保持一流的全系统真空性能,提供出色的流程一致性
  • 无论是单泵还是多泵配置,再生速度都很快
  • 能源和冷却水消耗低,却不牺牲真空性能
  • 易于实现系统集成
  • 快速完成生产安装
  • 增强的远程监测功能,可进行预防性和预测性维护
 

On-Board® IS 320FX 低温泵,专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发,可提高氢气抽送速度和容量,同时还能保持您对该低温泵所期待的质量、性能和可靠性优势。 

  • 专为离子注入应用而设计
  • 针对低温设备的处理能力进行了优化
  • 智能的“自我调节”技术
  • 更低拥有成本
  • 延长了正常运行时间

 

On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用提供了更大的抽气容量,以实现出色的生产率,同时保持流程透明性。此外,它还充分利用了 On-Board® IS 久经考验的能效、始终如一的性能和低拥有成本,这正是您对它的期望。 

  • 该泵提供容量冗余,以用于将来的流程改进
  • 更低拥有成本
  • 延长正常运行时间
  • 智能的“自我调节”技术,实现稳定的真空性能

 

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