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Edwards On-board 低温泵

On-board 低温泵

可靠性和性能方面的全球典范

加速集成速度,改善系统运行

On-Board 低温泵具有完全集成的控件和外围支持设备,可提供出色的正常运行时间和始终一致的性能,从而提高设备的整体生产效率和正常运行时间。

 

主要特点

  • 快速 Regen™ 功能可扩展低温泵在再生间隔期内的性能
  • 通过将您的低温泵联网而实现同时再生功能,可使整个系统的再生加速
  • 嵌入式微处理器控件可增强低温性能、执行诊断程序并提供通信功能
  • 先进的软件和易于使用的图形用户界面,可显著改善低温泵的性能和操作

On-Board Cryopump 型号 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
泵送速度 - 升/秒
水蒸汽 1100 4000 4000 9000 9,500 6500 17,500 30,000
空气 370 1500 1500 3000 3600 2,200 6000 10000
氢气 370 2500 2,200 5000 6000 3200 12000 12000
氩气 310 1200 1200 2500 3000 1,800 5000 8,400
泵送容量 - 标准升
氩气 210 1000 1000 2000 2000 1000 2500 6000
氢气 (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
标称再生时间(冷态至冷态)
第一和第二阶段 75 分钟 2.5 小时 2.5 小时 2.5 小时 2.5 小时 <3.3 小时 3 小时 <3.8 小时
第二阶段 <1 小时 <1 小时 <1 小时 <1 小时 <1 小时 <1.5 小时 <1.5 小时 -

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