On-board 低温泵

可靠性和绩效的世界标准

加速集成并改善系统运行

拥有出色的正常运行时间、On-Board 低温泵和稳定的性能,并配有完全集成的控件和支持外围设备,可提供出色的正常运行时间以提高工具的整体生产效率和正常运行时间。

主要特征

 
  • 快速 Regen™ 功能可扩展再生过程之间的低温泵性能
  • 通过将您的低温泵联网而实现的同时再生功能可使整个系统的再生加速
  • 嵌入式微处理器控件可增强性能、执行诊断程序并提供通信功能
  • 先进的软件和易于使用的图形用户界面可显著改善性能和操作

On-Board cryopumps chart