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Edwards Cryo-Torr 低温泵

Cryo-Torr 低温泵

清洁、可靠、高速的抽气,适用于关键的真空流程应用

清洁可靠

这些低温泵运营成本低,维护快速、轻松,拥有高可靠性和关键性能,并享有值得信赖的敏捷响应式服务。为了增加灵活性,您可以添加自己的自定义控件和外围支持设备,以满足您的特定应用需求。

 

主要特点

  • 运营成本低 
  • 维护快速、轻松
  • 可靠性高 
  • 拥有关键性能

Cryo-Torr 泵型号     8 8F 10 10F 400
配置     扁平 扁平
真空法兰内径(金属密封,ANSI、ISO)     200 mm 200 mm 290 mm 300 mm 400 mm
气体泵送速度              
  升/秒 4000 4000 9000 9,500 16000
  空气 升/秒 1500 1500 3000 3600 6000
  氢气 升/秒 2500 2,200 5000 6000 5000
  氩气 升/秒 1200 1200 2500 3000 5000
气体容量              
  氢气 标准升 17 8 24 24 15
  氩气 标准升 1000 1000 2000 2000 2500
吞吐量              
  氩气 Sccm 700 700 1500 1500 500
  氩气 托-升/秒 9 9 19 19 6
交叉   托-升 150 150 300 300 300
冷却时间              
    60 赫兹 90 分钟 90 分钟 100 分钟 100 分钟 150 分钟
    50 赫兹 110 分钟 110 分钟 120 分钟 120 分钟 180 分钟
低温泵重量              
    Lbs 45 42 85 90 160
    Kg 20 19 39 41 73

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