MaxCool 2500 L 低温捕集器

快速实现较低的真空水平

抽水蒸汽

水蒸汽是典型的活性污染物。借助 MaxCool 低温捕集器,您可以期待将现有系统中的产品处理能力提高 20% 至 100%,并提高沉积质量。

MaxCool 的优势

  • 高真空的泵抽空时间缩减达 75%
  • 水蒸汽的高速抽出: 工作区中10,000 至 140,000 l/s
  • 产品处理能力提高 20% 至 100%
  • 加工过程中水蒸汽分压越低,薄膜质量越高,附着力越好,沉积的重现性越好
  • 在成本/性能方面优于采用液态氮冷却的 Meissners
  • 通过电源管理将使用成本降至最低
  • 适用于各种制程的高容量冷却和加热

当将其添加到您的真空系统中时,MaxCool 低温捕集器可以大大减少泵抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内泵出水蒸汽,并能够在不到四分钟的时间内除霜,从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项被称为“快速冷却至冷却”,可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言,这意味着每个班次可以有更多的生产周期。

MaxCool 使用获得专利的 Polycold® 混合制冷剂,并按照 Meissner 阱原理工作。水蒸汽在被称为 Meissner 盘管的低温冷却表面上通过冷凝被捕获。Meissner(低温盘管)直接安装在真空腔中,因此传导性不受端口、集合管、阀门和挡板的限制。低温盘管易于安装,可以调整以适配任何系统

它不需要高真空阀。

MaxCool 低温捕集器是最具成本效益的升级产品,您可以将其添加至任何使用扩散泵、涡轮泵或氦低温泵进行抽空的系统。

MaxCool 低温捕集器符合欧洲应用制冷剂(EC 1005/2009)、《蒙特利尔协议》和美国 EPA SNAP 标准的规定。

优势

  • -120 至 -145°C (153 至 128K)
  • 除热功率达 2500 瓦
  • 低温冷凝真空系统中的水蒸汽,速度达 140,000 l/s,真空水平达 8 x 10-10 torr (1 x 10-9mbar)
  • 理论最大抽取速度为 208,600 l/s
  • 通过“快速冷却至冷却”功能提高生产率
  • 电源管理选项,可将拥有成本降至最低
  • 温度控制
  • 专利绿色制冷剂充注符合全球标准,无毒且不易燃
  • 基于 Polycold 成熟的、可靠的创新型混合气体制冷技术
  • 符合欧盟 PED 和 MD
  • 经德国 TUV 莱茵认证,符合 NRTL / 加拿大安全标准
  • 通过 ISO 9001:2008 认证的制造商