Spectra

Spectra —— 满足您的环境需求

尾气处理

• 独特的 4 级燃烧技术

• 高效的 SiH4 气体处理

• 高 H2 流量气体处理能力

• 出色 NF3 / F2 高流量管理

• 高 NH3 气体处理能力

• 尾气处理和微粒管理的模块化设计

• 除粉效率达 80%

酸性气体洗涤

• 集成式湿法洗涤器

• 可优化耗水量的水循环装置

粉末捕获

Spectra ZW2 —— 带颗粒去除功能的水冷式尾气处理

• 模块化的湿式静电除尘器(WESP)

• 去除 99% 的微粒

• 高粉末负荷处理能力

• 与替代解决方案相比,总体使用成本低。请在此处获取最新消息