Atlas

ATLAS —— 无与伦比的减排性能

Atlas 减排技术: 系列燃烧气体减排解决方案 —— 专用于您的制程:

  • Atlas TCS,适用于常见的 CVD 气体 (NF3/F2)
  • Atlas TPU,适用于 CVD 制程中的 PFC 气体(ClF3、C2F6、C3F8)
  • Atlas Kronis,适用于新一代制程中的低k CVD 气体
  • Atlas Etch,适用于半导体蚀刻和平板显示器制程(CF4、SF6 和高流量 PFC)
  • Atlas Helios,适用于外延和 MOCVD 中氢制程的安全处理

与上一代气体减排设备相比,Atlas™ 系统的燃料消耗较低。我们使用成熟的 Alzeta™ 内燃式燃烧器技术来实现拥有成本的显著降低。Atlas 系统有 1-6 个入口,配有包括温度管理系统 (TMS) 在内的多种功能选件,可处理高达 1,200 slm 的流量。它们被设计成易于使用并且能够实现更有效的维护。

Edwards 的内燃式燃烧技术

自 1994 年以来,内燃式燃烧器被大多数大型半导体制造商所采用,现已成为尾气处理行业的标准应用。

我们独特的燃烧技术在均匀的燃烧温度下工作。这样可确保极低的背景排放,并且气流的内向流动可防止制程材料与腔室壁接触,从而最大程度地减少固体阻塞。燃烧器材料的独特成分具有卓越的耐腐蚀性,有助于为 Atlas 提供无与伦比的可靠性和安全性。

在我们最先进的环保创新中心,我们对解决方案进行了工艺优化,使其具有卓越的性能,并通过了现场验证和第三方验证。减排 DRE 的规定在以下方面通常超过了全球和地方法规:

    低于 TLV 的 SiH4 和其他卤化物

    NF3: >99% / <TLV

    F2 : : >99% / <TLV

    CF4 : >90%

    其他 PFC: >99%

凭借庞大的安装量、无与伦比的全球应用团队和服务支持,我们可以为您的制程需求提供最佳解决方案。与我们的团队联系,我们可以一起寻求最终的解决方案。