LED 照明

可提高生产效率和安全性的真空和尾气处理解决方案

增加产量,提高安全性

支持您创新的全球经验

我们在半导体工厂积累了丰富的经验,可为您在采用硅晶片加工技术时提供支持,在这方面具有独特的优势。

我们还可以帮助您:

  • 同时处理使用 MOCVD 工具探测到的氢气和氨气的高流速
  • 提高粉尘处理能力,并具有高耐腐蚀性气体的能力
  • 为您提供紧凑的一体化解决方案,功耗低,适合大体积、高流量的应用。

我们所有的尾气处理系统均旨在减少运营对环境的影响并降低成本。

LED 制造

世界在不断地推动节能,而 LED 正是这一需求的主要贡献者。作为 LED 制造过程的一部分,我们了解客户面临的真空和环境方面的挑战。我们相信,凭借我们的全球经验,我们可以提供经济高效、安全环保的技术解决方案以支持客户提高生产率。