确保洁净可靠的分析环境的真空系统
主泵排气至大气压力并在中低真空度下达到压力；它们可以使用油润滑泵或“干式泵”。
达到高真空度和超高真空度的二级泵需要配套的主泵。所用的真空泵类型取决于分析应用的特定要求。
我们的所有真空泵及其控制器都是与优秀 OEM 厂商合作开发的，充分考虑了分析仪器领域的应用。
在某些情况下，当现成的泵不符合可用空间或流程的性能要求时，我们的“定制产品开发”(BPD) 团队将开发定制的真空解决方案。这将是与您共同设计、专门针对您的应用开发的解决方案。
用于质谱分析的真空系统
质谱分析 (MS) 是一种科学技术，用于测量样品中原子和分子的质量和相对数量。本质上，它可被视为化学分析仪。一开始需对样本进行“离子化”，这可以根据样本类型通过多种技术来完成。然后根据离子的质荷比，再次采用合适的方法分离离子。然后对其进行检测，最后处理信号以获得质谱。
质谱分析具有广泛的应用，包括化学、生物学、环境科学、药理学和医学领域。它可用于鉴别未知化合物，量化样品中特定化合物的量，并帮助确定复杂分子的结构。
质谱分析的准确度和精密度取决于不同的真空度。真空泵可去除可能干扰测量流程的残留气体分子，从而确保质谱仪在所需的真空条件下运行。
用于质谱分析的常用真空泵技术包括：
旋片泵（RV 和 E2M）
油润滑旋片泵 (RVP) 的机构包括一组固定在转子中的滑动叶片，该叶片在圆柱定子壳体内偏心旋转。当油润滑的叶片随转子旋转时，离心力将其压到定子壳体壁上。进入泵的气体被叶片限制，并被压缩成更小的体积，直至到达泵出口，使其排至大气中。使用单级或双级 RVP 并提供不同的极限压力。
多级罗茨泵 (MSR)（nXRi 和 nXLi）
采用简单结构的 MSR 是干式罗茨泵，具有两个反向旋转、相互连接的“叶状”转子，在配套的异形定子外壳内旋转。气体通过与转子垂直的进气法兰进入干式泵，然后在快速旋转的转子之间“隔离”（这些转子以相反方向旋转）、压缩，然后送入下一级。转子的几何形状会产生压缩，因此每级都会产生逐渐升高的压力。MSR 泵通常在共用轴上使用七个转子级，一组的排气级连接至下一组的进气级，依此类推。然后，压缩气体通过最终排气级排放至大气中。
涡旋泵
干式涡旋泵由真空壳体中包含的两个共绕螺旋形涡旋几何结构组成。一个涡旋结构是固定的，而一个驱动涡旋则在另一个涡旋内偏心移动但不旋转。气体进入螺旋的（外部）开口端，当其中一个螺旋绕轨道运行时，会在涡旋之间隔离一定量的气体，并在两个螺旋之间“挤压和输送”。当这种被隔离的“小块”气体流向机构中心时，它所占的体积就会减小，因此，这种隔离的气体量会被不断压缩，直至在壳体中心通过单向阀排放到大气压力为止。
涡轮分子泵 (TMP)
这些泵通过使用高速旋转的涡轮叶片（约 1000 Hz）将气体分子从仪器真空室中排出并进入泵的入口来工作。它们被广泛使用，因为它们可以为仪器中使用的多种流程创建所需的广泛真空度，范围为 10-2 至 10-10 mbar。
定制设计解决方案
OEM 厂商经常会有特定的要求，在这种情况下，EDWARDS 定制产品开发 (BPD) 小组会与之共同设计一款符合客户确切需求的真空解决方案。
用于电子显微镜的真空系统
使用电子显微镜工作的科学家可以识别地球上非常小的物质，这需要运行安静、无振动且可靠的真空泵。
电子显微镜 (EM) 在其内部应用不同的真空度，以实现其所需的性能。对于在“源”处使用电子枪，需要使用 UHV 环境来防止对电子源造成损坏。这还使电子束能够从源穿过电子柱，然后到达样品，而不会被残留气体分子散射或吸收。然后电子束会与样品相互作用，产生可检测到并用于生成图像的信号。
为了获得高分辨率图像，显微镜室中的真空必须具有稳定的高质量，在某些情况下包括 UHV 条件，因此需要使用真空泵。
电子显微镜中使用了多种真空泵技术；常见的是：
根据显微镜中使用真空泵的位置，必须尽量减少泵产生的振动，以防止对图像造成干扰。在某些 EM 配置（环境扫描 EM）中，泵必须能够以约 10 mbar 的真空度持续抽空水蒸汽环境。
通过 Gamma Vacuum 系列，我们现在提供离子、钛升华和非蒸散型吸气泵来补充我们的机械泵。这补全了我们的产品系列，可提供从大气压力到 UHV 的工作压力，从而提供非常完整的真空解决方案产品。
离子吸气泵 (IGP)
根据存在的气体数量和类型，IGP 可产生 10-6 至 10-12 mbar 的真空。在电子显微镜中，它通常用于电子柱，因为没有活动的机械零件，这意味着它可以产生无振动的 UHV 条件。
在开机之前，需要降低至高真空度。这通常是通过将涡轮分子泵与前级泵（膜片泵、涡旋泵或旋片泵）结合使用来实现的。
达到所需的真空度（通常为 10-6 mbar 或更低）后，便可开启 IGP。
IGP 真空泵有三种基本类型：
这三种类型都包括一个真空室，其大小因泵的速度而异，具有 Conflat 法兰和高电压馈通。它们外部有一对通过磁轭连接的铁氧体磁铁板，可产生一个约为 0.12 T 的磁场。
传统二极管 (CV) 泵
CV 泵非常适合需要抽取反应性气体（如氧气、氢气、碳氢化合物、氮气和水蒸汽等）的应用。其内部包含一对保持在接地电位的钛阴极板，可“夹入”一系列电隔离的不锈钢阳极管。在阳极管上施加高电压（通常为 7kV）可导致释放自由电子。这些电子以螺旋运动移动（由磁场引起），最终会撞击气体分子，敲落电子，产生正离子。然后，该离子会被带正电的阳极管排斥，并被吸引至接地阴极板上，在那里它会高速撞击表面，与钛阴极板发生化学反应。还会启动钛溅射，形成活性吸气钛抽吸层。
差动离子 (DI) 泵或惰性二极管泵
DI 吸气泵具有出色的惰性气体抽吸能力，但会因此损失一些反应性气体的抽吸。钛板被钽片所取代。气体分子再次通过电子轰击离子化，但当它们加速并撞击钽阳极板时，它们被反射为高能中子，然后再结合到表面，最终被溅射的钽吸气抽吸。
三极管泵
三级管真空泵的结构略有不同。在这里，管已接地，阴极板被负高压电位的阳极钛条所替代。离子以常规方式生成，并向这些钛条加速移动，在这里发生撞击并被释放为高能中子，最终嵌入到室壁中，并被溅射的钽吸气抽吸。钛条有锋利的边缘，由于它们处于高负电位，它们很容易出现“晶须”，随着时间的推移，这些“晶须”可能会周期性地“闪络”，导致一些电气不稳定。
用于手套箱的真空系统
手套箱是封闭的工作区，用于在无氧气或水分的全隔离环境中处理材料。为实现这种隔离，真空泵用于排出手套箱中的环境残留空气，然后用氮气或氩气等惰性气体吹扫并密封。真空泵产生的低压环境可防止外部大气进入手套箱。
可用于手套箱的多种不同类型的真空泵包括膜片泵、旋片泵和涡旋泵。泵的选择取决于应用的特定需求，如气体流速、真空度和维护要求。
用于 X 射线衍射 (XRD) 的真空系统
XRD 是一种通过检查材料如何与 X 射线发生相互作用来分析材料结构的技术。当 X 射线照射在样品上时，它们会衍射出特定的图谱，通过分析这些图谱，可以确定样品的晶体结构。
XRD 中使用真空来消除大气分子，这些分子可以散射和吸收 X 射线，从而降低信噪比和数据准确性。通过去除空气分子并产生真空，X 射线可以与样品相互作用而不受干扰，从而获得质量更好的数据。
XRD 中也使用真空来减少样品污染。当样品暴露于空气中时，可能会被灰尘、水蒸汽和空气中的其他颗粒污染，从而干扰衍射图谱。通过使用真空，可防止样品受到这些污染物的影响，从而实现更准确的分析。
为了在 XRD 仪器中产生真空，使用真空泵去除样品室中的空气分子。根据仪器和待分析样品的具体要求，可以使用不同类型的真空泵，如旋片泵、膜片泵和涡轮分子泵。
