BURGESS HILL，WEST SUSSEX，英国（2019 年 3 月 14 日）——Edwards 宣布推出新型 iXH Mk2 系列：一种高效、低功耗、可适应超繁重工作的干泵，可满足当今的半导体工艺需求，并可应对未来半导体、显示屏、LED 和太阳能光伏组件制造工艺中新兴的应用挑战。Edwards 将于 3 月 20 日至 22 日在上海 SNIEC 举行的SEMICON® China上展出新的 iXH Mk2 解决方案（展位号：1309 FPD CHINA）
“新的 iXH Mk2 干泵比最前几代产品具有更长的使用寿命，适用于最严苛的工艺。它还可以显著提高能效，” Edwards 高级产品经理 Al Brightman 先生如此说。“利用百年技术创新，我们为严苛的工艺能力、可靠性和低使用成本‘重置标准’。iXH 降低了半导体制造中一些严苛工艺对环境的影响。”
到访我们的展位，了解 iXH Mk2 如何解决 high-k、low-k、SACVD、LPCVD、ALD、TCO、GaN 和 EPI 中新兴的工艺挑战。
