Edwards 推出 EdCentra Sub-fab 管理系统

2017年7月12日

“就像制造商采用先进的监控和数据分析来优化车间运营一样,他们发现将相同的技术应用于 sub-fab 运营也有很大的好处,”Edwards 半导体服务部全球营销总监 Geoffrey Stoddart 说。“例如,真空状态会影响晶片质量和整个车间成本,因为它会影响产量,而晶片加工过程中如出现意外真空故障将会造成损失。EdCentra 提供有关泵性能和预防性维护的宝贵数据,有助于令工具正常运行时间最大化。”




EdCentra 取代了 FabWorks,通过其直观、图形化和完全可定制的用户界面实现了许多新的、改进的 sub-fab 管理功能。该系统使 sub-fab 设备操作者、车间工艺工程师或运营经理可全面实时了解设备状态概况,且只需鼠标点击几下,即可快速深入查看单个设备层级信息。全面的历史趋势分析使对故障模式根本原因进行快速分析成为可能——通过将跨多种工具/参数的、简单的屏幕图形趋势进行比较来实现。先进的功能包括: 参数阈值监控和预防性维护、针对特定流程的监控,以及促进基于状态的维护和维护资源库的设立。




EdCentra 旨在快速、有针对性地落实新的市场和客户的要求,以及无缝添加新的、关键的 sub-fab 设备监测趋势。系统可以预测新类型的数据库、通讯协议和数据管理生态系统。




Stoddart 补充道,“EdCentra 已为未来做好准备。它融合了我们的全球设备和工艺技术,通过其监控、高级诊断和预测能力,让我们的客户安心无忧,因为他们的 sub-fab 基础设施得到良好维护,并可随时提供持续的工艺和产量绩效表现。”

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