Edwards 在 SEMICON® Korea 突出展示集成尾气处理解决方案

2015年2月4日

“Edwards 不断努力降低拥有成本、提高生产率并加强最终产品品质。举例来说,我们很高兴在‘SEMICON Korea’展示我们的集成解决方案,”Edwards 市场部门经理 Charles Lee 说。“将真空和尾气处理系统集成到一个单独的单元中,例如我们的 EZENITH™ 产品系列,提供了许多益处,包括: 更好的过程可靠性、更安全的操作、更快的启动以及更低的总拥有成本。在一个集成系统中,真空泵、尾气处理系统、排气管配置和管件温度管理的最佳设置由我们的专业应用工程师决定,以尽可能低的拥有成本提供可靠、可预测的性能。




此外,今年的产品系列包括以下干泵系列,提供“绿色模式”,功耗降低高达 95%:

  • iXL120 和 iXL200 干泵——最小、最轻的泵,可用于负载锁定和清洁应用,
  • iXH 干泵——专为工作繁重的制造应用而设计,
  • iXM 干泵——低能耗泵,提供最大可靠性并延长泵使用寿命,
  • STP 磁悬浮涡轮分子泵——半导体、FPD、LED 和太阳能制造等大数量、高流量应用的“一体化”解决方案。




    “我们非常很自豪今年再次参加 'SEMICON Korea',我们期待与我们的客户讨论集成的 sub-fab 系统,“Charles Lee 说。“我们近 15 年来一直在设计和销售集成真空和尾气处理系统,我们已在全球安装了 1,000 多套系统。事实上,我们大部分的干泵都是在韩国生产并出口到全球的。所以我们拥有客户可以信赖的经验。” Charles 补充道,“我们欢迎 'SEMICON Korea' 所有与会者前往 Edwards 的 5104 号展位,并与我们的应用专家讨论集成真空和尾气处理系统的优势。”

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