Криогенный чиллер для водяного пара Polycold® PFC от Edwards эффективно захватывает водяной пар, из которого на 65–95 % состоит газовая нагрузка в системах с высоким вакуумом.
Он начинает откачивать пар в течение нескольких минут после запуска, размораживается менее чем за четыре минуты и снижает парциальное давление водяного пара во время технологического процесса, что повышает качество пленок, адгезию и воспроизводимость напыления.
Использование в вакуумной системе криогенного чиллера PFC позволяет ускорить откачку на 25–75 % и на 20–100 % повысить скорость обработки продукта. Кроме того, криогенный чиллер PFC отличается лучшим соотношением цены и производительности по сравнению с системами охлаждения жидким азотом (эффект Мейснера). Как правило, окупаемость таких чиллеров составляет всего один год.
