Криогенный чиллер для водяного пара Polycold® PFC от компании Edwards эффективно захватывает водяной пар, из которого на 65–95 % состоит газовая нагрузка в системах с высоким вакуумом.
Он начинает откачивать пар в течение нескольких минут после запуска, размораживает менее чем за четыре минуты и снижает парциальное давление водяного пара во время технологического процесса, что повышает качество пленок, адгезию и воспроизводимость напыления.
При добавлении в вакуумную систему криогенный чиллер PFC может сократить время откачки на 25–75 % и увеличить объем выпуска продукта на 20-100%. Кроме того, криогенный чиллер PFC обеспечивает превосходное соотношение цены и производительности по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом (эффект Мейснера) и, как правило, возврат инвестиций занимает всего один год.
