Криогенный чиллер Polycold MaxCool 2500 L эффективно захватывает водяной пар, из которого на 65–95 % состоит остаточный газ в системах с высоким вакуумом.
Водяной пар, как правило, является наиболее химически активным из числа присутствующих загрязняющих веществ. Использование криогенного чиллера MaxCool позволяет повысить скорость обработки продукта в существующей системе на 20–100 %, а также добиться более качественного осаждения.
Использование в вакуумной системе криогенного чиллера MaxCool позволяет значительно ускорить откачку и повысить скорость обработки продукта. Криогенный чиллер MaxCool начинает откачивать водяной пар уже через нескольких минут после запуска и способен размораживаться менее чем за четыре минуты, что обеспечивает возможность действительно быстрого цикла. В нем также реализована функция Rapid Cool to Cool, использование которой исключает период ожидания после размораживания. Благодаря этому система сможет выполнить больше производственных циклов за смену.
В криогенных чиллерах MaxCool, использующих принцип ловушки Мейснера, применяются запатентованные смеси хладагентов Polycold®. Водяной пар конденсируется на охлаждаемой до сверхнизких температур поверхности, называемой змеевиком Мейснера. Криозмеевик Мейснера устанавливается непосредственно в вакуумной камере, поэтому эффективная скорость откачки крионасоса не ограничивается отверстиями, трубопроводами, клапанами или дефлекторами. Криозмеевик легко устанавливается в рабочую камеру любой конфигурации.
Для его работы не требуется высоковакуумный клапан.
Криогенные чиллеры MaxCool являются наиболее экономически эффективными средствами откачки, которые можно добавить к любой вакуумной системе с диффузионным насосом, турбомолекулярным насосом или криогенным насосом, использующим гелий в качестве рабочего газа.
Криогенные чиллеры MaxCool соответствуют требованиям европейской директивы по применению хладагентов (EC 1005/2009), Монреальского протокола и Агентства по охране окружающей среды США (EPA-SNAP)
