Криогенный чиллер MaxCool 2500 L

Быстрое достижение более низких уровней вакуума

Откачка водяного пара

Водяной пар, как правило, является наиболее химически активным из числа присутствующих загрязняющих веществ. Использование криогенного чиллера MaxCool позволяет повысить скорость обработки продукта в существующей системе на 20–100 %, а также добиться более качественного осаждения.


Преимущества серии MaxCool

  • Ускорение откачки до высокого вакуума почти на 75 %
  • Высокоскоростная откачка водяного пара: от 10 000 до 140 000 л/с в рабочей зоне
  • Повышение скорости обработки продукта на 20–100 %
  • Более низкое парциальное давление водяного пара для достижения более высокого качества пленок, лучшая адгезия и большая воспроизводимость напыления
  • лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом (эффект Мейснера)
  • Снижение стоимости владения благодаря управлению энергопотреблением
  • Высокая охлаждающая и нагревательная способность для самых разных технологических процессов

Использование в вакуумной системе криогенного чиллера MaxCool позволяет значительно ускорить откачку и повысить скорость обработки продукта. Криогенный чиллер MaxCool начинает откачивать водяной пар уже через нескольких минут после запуска и способен размораживаться менее чем за четыре минуты, что обеспечивает возможность действительно быстрого цикла. В нем также реализована функция Rapid Cool to Cool, использование которой исключает период ожидания после размораживания. Благодаря этому система сможет выполнить больше производственных циклов за смену.


В криогенных чиллерах MaxCool, использующих принцип ловушки Мейснера, применяются запатентованные смеси хладагентов Polycold®. Водяной пар конденсируется на охлаждаемой до сверхнизких температур поверхности, называемой змеевиком Мейснера. Криозмеевик Мейснера устанавливается непосредственно в вакуумной камере, поэтому эффективная скорость откачки крионасоса не ограничивается отверстиями, трубопроводами, клапанами или дефлекторами. Криозмеевик легко устанавливается в рабочую камеру любой конфигурации.


Для его работы не требуется высоковакуумный клапан.


Криогенные чиллеры MaxCool являются наиболее экономически эффективными средствами откачки, которые можно добавить к любой вакуумной системе с диффузионным насосом, турбомолекулярным насосом или криогенным насосом, использующим гелий в качестве рабочего газа.


Криогенные чиллеры MaxCool соответствуют требованиям европейской директивы по применению хладагентов (EC 1005/2009), Монреальского протокола и Агентства по охране окружающей среды США (EPA-SNAP)


Преимущества

  • От –120 до –145 °C (от 153 до128 K)
  • Теплоотводящая способность до 2500 ватт
  • Конденсация водяного пара в вакуумных системах с производительностью до 140 000 л/с. Глубина вакуума до 8 x 10-10 торр (1 х 10-9 мбар)
  • Расчетная максимальная скорость откачки — 208 600 л/с
  • Повышение производительности благодаря функции Rapid Cool to Cool
  • Функция управления энергопотреблением для минимизации стоимости владения
  • Контроль температурного режима
  • Запатентованный экологичный, нетоксичный, негорючий хладагент разрешен для применения во всем мире
  • Создан на основе проверенной инновационной технологии охлаждения Polycold с использованием смеси газообразных хладагентов
  • Соответствует требованиям директивы ЕС для оборудования, работающего под давлением, и директивы о безопасности машин и оборудования
  • Включен в список TUV Rheinland как соответствующий стандартам безопасности Национальной испытательной лаборатории (NRTL) / CANADA
  • Производство сертифицировано в соответствии с требованиями стандарта ISO 9001:2008