Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Серия криогенных чиллеров MaxCool производства Edwards

Криогенные чиллеры MaxCool

Разработаны для выполнения сложных задач

Быстрое достижение более низких уровней вакуума

Эти криогенные охладители можно использовать для улавливания водяного пара и других конденсируемых веществ путем их замораживания на холодной поверхности, например, на криозмеевике или перегородке. Криогенные чиллеры MaxCool также используются для охлаждения и нагрева объектов, таких как электростатические держатели, используемые при обработке полупроводниковых пластин. Различные модели в нашей линейке обеспечивают мощность охлаждения 2000, 2500 или 4000 Вт.

Откачка водяного пара

Водяной пар, как правило, является наиболее реактивным загрязняющим веществом, присутствующим в вакуумных системах высокого давления. С нашими криогенными чиллерами MaxCool вы можете ожидать увеличения производительности существующей системы на 20–100% и повышения качества напыления.

Преимущества серии MaxCool

  • Ускорение откачки до высокого вакуума почти на 75 %
  • Повышение скорости обработки продукта на 20–100 %
  • Более низкое парциальное давление водяного пара для достижения более высокого качества пленок, лучшая адгезия и большая воспроизводимость напыления
  • Лучшее соотношение цена/производительность по сравнению со змеевиками, охлаждаемыми жидким азотом (эффект Мейснера)
  • Снижение стоимости владения благодаря управлению энергопотреблением
  • Высокая охлаждающая и нагревательная способность для самых разных технологических процессов

Криогенный чиллер Edwards Polycold MaxCool 2500L

При добавлении в вакуумную систему криогенные чиллеры MaxCool могут значительно сократить время откачивания и повысить производительность. MaxCool откачивает водяной пар в течение нескольких минут с момента запуска и может размораживать менее чем за четыре минуты, обеспечивая возможность быстрого цикла. Кроме того, она оснащен функцией Rapid Cool to Cool (быстрое охлаждение для охлаждения), которая устраняет период ожидания после размораживания, позволяя системе выполнять больше производственных циклов за рабочую смену.

Наши криогенные чиллеры MaxCool работают на основе принципа ловушки Мейснера, используя запатентованные смеси хладагента Polycold®. Водяной пар улавливается конденсатом на поверхности с криогенным охлаждением, называемой змеевиком Мейснера (криозмеевиком). Криозмеевик устанавливается непосредственно в вакуумной камере, поэтому проводимость не ограничивается портами, коллекторами, клапанами и перегородками. Криозмеевик прост в установке и может быть адаптирован для любой системы. Для него не требуется вакуумный клапан высокого давления.

Криогенные чиллеры MaxCool являются наиболее выгодными по цене устройствами для откачки, которые можно добавить к любой вакуумной системе с диффузионным насосом, турбомолекулярным насосом или криогенным насосом, использующим гелий в качестве рабочего газа.

Криогенные чиллеры MaxCool соответствуют требованиям Европейской директивы по применению хладагентов (EC 1005/2009), Монреальского протокола и Агентства по охране окружающей среды США (EPA-SNAP)

Преимущества

  • Повышение производительности благодаря функции Rapid Cool to Cool
  • Функция управления энергопотреблением для минимизации стоимости владения
  • Контроль температуры
  • Запатентованный экологичный, нетоксичный, негорючий хладагент разрешен для применения во всем мире
  • Создан на основе проверенной инновационной технологии охлаждения Polycold® с использованием смеси газообразных хладагентов
  • Соответствует требованиям директивы ЕС для оборудования, работающего под давлением, и директивы о машином оборудовании
  • Включен в список TUV Rheinland как соответствующий стандартам безопасности Национальной испытательной лаборатории (NRTL) / CANADA
  • Производство сертифицировано в соответствии с требованиями стандарта ISO 9001:2008

Технические характеристики моделей MaxCool

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Максимальная мощность охлаждения

2000 Вт

2500 Вт

4000 Вт

Температура при максимальной мощности охлаждения

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Самая низкая температура

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Предельное рабочее давление (25% от максимальной скорости откачки)

3E-9 торр

8E-10 торр

5E-8 торр

Типичная зона холодной ловушки

1,1 м2

1,4 м2

2,2 м2

Максимальная скорость откачки водяного пара из типичной зоны холодной ловушки

163 900 л/с

208 600 л/с

327 800 л/с

Заниженная максимальная зона холодной ловушки*

1,5 м2

2,0 м2

2,8 м2

Потребление электроэнергии (режим ожидания)

5,5 кВт

11,4 кВт

12,0 кВт

Потребление электроэнергии (режим охлаждения, типичная нагрузка)

6,2 кВт

13,9 кВт

12,4 кВт

Потребление электроэнергии (режим охлаждения, максимальная нагрузка)

8,8 кВт

19,2 кВт

19,2 кВт

Расход охлаждающей воды при 13 °C

6,8 л/мин

15,1 л/мин

15,1 л/мин

Расход охлаждающей воды при 18 °C

9,1 л/мин

18,2 л/мин

18,2 л/мин

Расход охлаждающей воды при 24 °C

13,6 л/мин

27,3 л/мин

27,3 л/мин

Расход охлаждающей воды при 29 °C

27,6 л/мин

54,1 л/мин

54,1 л/мин

Соответствует Европейской директиве по оборудованию, работающему под давлением

Да

Да

Да

Нетоксичные хладагенты

Да

Да

Да

Невоспламеняющиеся хладагенты

Да

Да

Да