Криогенные чиллеры Edwards Polycold® MaxCool – это криогенные холодильные системы с замкнутым контуром, которые эффективно захватывают водяной пар, из которого на 65–95 % состоит газовая нагрузка в системах с высоким вакуумом.
Эти криогенные чиллеры можно использовать для улавливания водяного пара и других конденсируемых веществ путем их замораживания на холодной поверхности, например, на криозмеевике или перегородке. Криогенные чиллеры MaxCool также используются для охлаждения и нагрева объектов, таких как электростатические держатели, используемые при обработке полупроводниковых пластин. Различные модели в нашей линейке обеспечивают мощность охлаждения 2000, 2500 или 4000 Вт.
Водяной пар, как правило, является наиболее реактивным загрязняющим веществом, присутствующим в высоковакуумных системах. С нашими криогенными чиллерами MaxCool вы можете ожидать увеличения производительности существующей системы на 20–100% и повышения качества напыления.
При добавлении в вакуумную систему криогенные чиллеры MaxCool могут значительно сократить время откачки и повысить производительность. MaxCool откачивает водяной пар в течение нескольких минут с момента запуска и может размораживаться менее чем за четыре минуты, обеспечивая возможность быстрого цикла. Кроме того, они оснащены функцией Rapid Cool to Cool (быстрое охлаждение для охлаждения), которая устраняет период ожидания после размораживания, позволяя системе выполнять больше производственных циклов за рабочую смену.Наши криогенные чиллеры MaxCool работают на основе принципа ловушки Мейснера, используя запатентованные смеси хладагента Polycold®. Водяной пар улавливается конденсатом на поверхности с криогенным охлаждением, называемой змеевиком Мейснера (криозмеевиком). Криозмеевик устанавливается непосредственно в вакуумной камере, поэтому проводимость не ограничивается портами, коллекторами, клапанами и перегородками. Криозмеевик прост в установке и может быть адаптирован для любой системы. Для него не требуется высоковакуумный клапан.
Криогенные чиллеры MaxCool являются наиболее выгодными по цене устройствами для откачки, которые можно добавить к любой вакуумной системе с диффузионным насосом, турбомолекулярным насосом или криогенным насосом, использующим гелий в качестве рабочего газа.
Криогенные чиллеры MaxCool соответствуют требованиям Европейской директивы по применению хладагентов (EC 1005/2009), Монреальского протокола и Агентства по охране окружающей среды США (EPA-SNAP)
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Максимальная мощность охлаждения |
2000 Вт |
2500 Вт |
4000 Вт |
Температура при максимальной мощности охлаждения |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Самая низкая температура |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Предельное рабочее давление (25% от максимальной скорости откачки) |
3х10(-9) торр |
8х10(-10) торр |
5х10(-8) торр |
Типичная зона холодной ловушки |
1,1 м2 |
1,4 м2 |
2,2 м2 |
Максимальная скорость откачки водяного пара из типичной зоны холодной ловушки |
163 900 л/с |
208 600 л/с |
327 800 л/с |
Заниженная максимальная зона холодной ловушки* |
1,5 м2 |
2,0 м2 |
2,8 м2 |
Потребление электроэнергии (режим ожидания) |
5,5 кВт |
11,4 кВт |
12,0 кВт |
Потребление электроэнергии (режим охлаждения, типичная нагрузка) |
6,2 кВт |
13,9 кВт |
12,4 кВт |
Потребление электроэнергии (режим охлаждения, максимальная нагрузка) |
8,8 кВт |
19,2 кВт |
19,2 кВт |
Расход охлаждающей воды при 13 °C |
6,8 л/мин |
15,1 л/мин |
15,1 л/мин |
Расход охлаждающей воды при 18 °C |
9,1 л/мин |
18,2 л/мин |
18,2 л/мин |
Расход охлаждающей воды при 24 °C |
13,6 л/мин |
27,3 л/мин |
27,3 л/мин |
Расход охлаждающей воды при 29 °C |
27,6 л/мин |
54,1 л/мин |
54,1 л/мин |
Соответствует Европейской директиве по оборудованию, работающему под давлением |
Да |
Да |
Да |
Нетоксичные хладагенты |
Да |
Да |
Да |
Невоспламеняющиеся хладагенты |
Да |
Да |
Да |
