Газовый реактор колонного типа (GRC) производства Edwards
Предназначен для безопасной нейтрализации токсичных компонентов в отработавших газах вакуумных насосов при производстве полупроводников.
GRC — это уникальный реактор с горячим слоем, в котором токсичные газы разлагаются в ходе химической реакции. Он предназначен для комплексной очистки различных газов и их смесей без образования новых видов жидких промышленных отходов. Патентованная смесь гранул неорганических веществ находится внутри сварного картриджа из нержавеющей стали. Для подогрева он вставляется в трубчатый электрический нагреватель. В опасных отработавших газах при прохождении через картридж протекает химическая реакция полного цикла с образованием стабильных инертных неорганических солей.
- БЕЗМАСЛЯНАЯ система, может быть напрямую подсоединена к выпуску вакуумного насоса
- Обратное натекание влаги исключено
- Отсутствие проблем, связанных с десорбцией токсичных газов
- Полное химическое превращение газов в стабильные инертные соли
- Отсутствие необходимости утилизации токсичных твердых или жидких отходов
- Использованные картриджи классифицируются как неопасные отходы
- Использованные картриджи также могут быть переработаны по безотходной технологии
- Простая и безопасная замена картриджей
- Отсутствие топлива и пламени — нет риска образования токсичных побочных продуктов
- Минимальное количество вспомогательных соединений. Впускной трубопровод может быть нагрет до 120 градусов Цельсия для уменьшения осаждения твердых частиц