O sistema de gerenciamento de exaustão Spectra é econômico, confiável e uma solução de redução de alto desempenho para o monitor de tela plana (FPD) de última geração e processos de fabricação de célula solar.
Redução
• exclusiva tecnologia de combustão de 4 estágios
• redução eficiente de SiH4
• alta capacidade de redução de fluxo de H2
• excelente gestão de altos fluxos de NF3 / F2
• alta capacidade de redução de NH3
• Projeto modular de redução e gerenciamento de partículas
• 80% de eficiência na remoção de pó
Lavagem de gás ácido
• Lavador úmido integrado
• Unidade de recirculação de água para otimizar o consumo de água
Captura de pó
Spectra ZW2 – redução resfriada a água com remoção de partículas
• Precipitador Eletrostático Úmido Modular (WESP)
• Remoção de 99% de partículas
• Alta capacidade de manuseio de carga de pó
• Baixo custo de propriedade em relação a soluções alternativas
