Existem várias contribuições para a carga de gás de um sistema. Em pressões inferiores, a cerca de 0,1 mbar, o mais dominante é frequentemente a "desgaseificação". A desgaseificação é o resultado da dessorção de moléculas previamente adsorvidas, difusão em massa, permeação e vaporização. A adsorção ocorre através de dois processos principais, a fisissorção e a quimissorção, e pode ser descrita usando cinco (ou seis) isotermas de classificação.
Observando a taxa de dessorção, a velocidade de bombeamento e a readsorção nas superfícies, pode-se calcular a desgaseificação líquida do sistema.
Como visto no Diagrama 1, as contribuições para a carga de gás de um sistema podem ser provenientes de:
Para um sistema vedado em alto vácuo (HV) sem carga de processo, a desgaseificação pode contribuir para até 100% da carga de gás.
Diagrama 1: Cargas de gás em um sistema de vácuo
A contribuição relativa de diferentes espécies para a carga de gás varia com a pressão. Para muitas aplicações de alto vácuo, o vapor de água é a principal preocupação em termos de desgaseificação. No entanto, para alcançar UHV em todos os sistemas de metal, a desgaseificação de H2 é de importância crucial.
A tabela abaixo compartilha as principais cargas típicas de gás em várias pressões.
Pressão (mbar) |
Principal carga de gás |
Atmosfera |
Ar (N2, O2, H2O, ar, CO2) |
10-3 |
Vapor de água (75-95%), N2, O2 |
10-6 |
H2O, CO, CO2, N2 |
10-9 |
CO, H2, CO2, H2O |
10-10 |
H2, CO |
10-11 |
H2, CO |
A extensão em que cada um deles contribui para a desgaseificação depende da composição do gás e do material de superfície (e de sua história). As taxas de desgaseificação são uma soma dessas contribuições.
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