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Analisadores de gases residuais

O equilíbrio perfeito entre desempenho de alto nível e acessibilidade

Analisadores de gases residuais Edwards RGA

Nosso RGA inclui duas variantes: ambas vêm com operação simples e eficaz, garantindo alto desempenho e eficiência   

Para aqueles que desejam uma visualização instantânea, as unidades possuem uma exibição integrada exclusiva que pode mostrar os principais tipos de gases, bem como a pressão geral do seu sistema, sem a necessidade de conexão a um notebook.

Analisador de gás primário PRA

Oferece o equilíbrio perfeito entre desempenho de alto nível e acessibilidade.

  • Disponível em quatro variantes para atender às suas necessidades de processo, quer você precise apenas de um modelo básico ou algo com mais sensibilidade/alcance.
  • O PRA é o ponto de partida perfeito para analisar seus processos.

Analisador de gás residual de ampla faixa WRA

Modelos de primeira linha, com especificações líderes de mercado.

  • Disponíveis em duas variantes, 1-200 ou 1-300 amu, é possível medir uma ampla variedade de gases/subprodutos dos seus processos. 
  • Eles contam com sensibilidade aumentada em comparação ao PRA, para permitir maior precisão nas suas medições.

Medição de pressão total

para total controle do processo

Filamento duplo

para maior confiabilidade e tempo de atividade

Visor integrado à unidade

para medições básicas sem um PC

Peças substituíveis pelo cliente
Função de desgaseificação
Proteção da fonte iônica e EM
Os RGAs fazem análise de gases e sua composição, isso é necessário para:

  • Detecção e identificação de vazamento
  • Encontre e identifique contaminantes 
  • Verifique a pureza do gás
  • Garantia de qualidade do produto/processo
  • Diagnóstico e controle de equipamentos & processo
  • Otimize o desempenho e o rendimento do processo

A solução perfeita em uma ampla variedade de aplicações:

  • Processos de semicondutores
  • Filme fino e deposição
  • Tratamento térmico de vácuo
  • Liofilização a vácuo
  • Pesquisa & Desenvolvimento
  • Física de alta energia