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Bombas a seco para semicondutores

A referência global em inovação de vácuo

Mais ecológico e confiável com um custo de propriedade mais baixo

As bombas a seco iXM de baixo consumo de energia podem trazer melhorias reais no processo com maior tempo de atividade, menor impacto ambiental e benefícios de custo para suas aplicações mais críticas.

  • O mecanismo roots com eficiência energética pode reduzir a potência de entrada em até 60%, reduzindo o impacto ambiental e o custo de propriedade
  • A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem quatro vezes maior resistência à corrosão do que nossa série anterior
  • Recursos avançados de manuseio de pó fornecem máxima confiabilidade e vida útil da bomba estendida para processos de gravação em várias camadas e consumo de energia reduzido para processos de CVD
  • O design compacto e leve, combinado com ruídos e vibrações excepcionalmente baixos, oferece mais versatilidade
  • Disponível com a tecnologia Xcede para maior resistência à corrosão.

A linha de bombas a seco iXH define novos padrões para capacidade de processos adversos, confiabilidade e menor custo de propriedade.

  • A ampla faixa de temperatura permite que você otimize a bomba para acúmulo mínimo de subprodutos da condensação e da galvanização
  • As bombas a seco iXH Mk2 proporcionam uma vida útil ainda mais longa nos processos mais difíceis e podem fornecer melhorias significativas na eficiência energética
  • A tecnologia inovadora de vedação de bomba pode prolongar a vida útil do processo e reduzir seus riscos de vazamento
  • Disponível com a tecnologia Xcede para maior resistência à corrosão.

A série IXL é uma linha de bombas a seco compactas de baixa energia para aplicações de serviços leves, como manuseamento de pastilhas, PVD e metrologia.

  • Desligamento rápido da bomba da câmara e consumo de energia extremamente baixo 
  • As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) estão entre as menores e mais silenciosas disponíveis para aplicações de serviços leves 
  • As variantes iXL600M e iXL1000M são processos endurecidos e especialmente projetadas para corrosão dielétrica (óxido) e outras aplicações semelhantes 
  • As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) apresentam alta velocidade de bombeamento e baixo consumo de energia
  • A iXL900R é a bomba loadlock mais rápida atualmente disponível em sua categoria para aplicações de loadlock FPD. Os clientes podem reduzir significativamente seus custos operacionais e tempos de instalação com esta nova bomba, que é particularmente adequada para as maiores câmaras loadlock usadas para aplicações de deposição de vapor de plasma (PVD). Além disso, os clientes precisarão de menos bombas por câmara loadlock, o que reduz o tempo de instalação, os custos de sistematização, a manutenção e o consumo de concessionárias.
  • O Modo Verde permite a redução do uso das concessionárias durante períodos de inatividade, reduzindo custos e ajudando a melhorar o desempenho ambiental

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