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Bomba criogênica IS integrada da Edwards

Bombas criogênicas On-Board® IS

Tecnologia criogênica inovadora que proporciona alta eficiência

Desempenho de vácuo inigualável e eficiência no consumo de energia

Um sistema de controle distribuído patenteado monitora e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema de bomba criogênica para manter o desempenho de vácuo ideal em todo o sistema para uma consistência de processo excepcional. As bombas criogênicas IS integradas oferecem o maior tempo de atividade, a melhor produtividade e o menor custo total de propriedade de qualquer sistema de bomba criogênica disponível atualmente, com o apoio da rede de suporte e serviço global altamente responsiva da Edwards.

 

Principais características

  • O sistema de controle distribuído patenteado monitora e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema da bomba criogênica
  • Mantém o desempenho ideal do vácuo em todo o sistema, proporcionando uma consistência de processo excepcional
  • Regenerações mais rápidas em configurações de uma e de várias bombas
  • Baixo consumo de energia e água de resfriamento sem comprometer o desempenho do vácuo
  • Fácil integração do sistema
  • Instalação de produção rápida
  • Monitoramento remoto aprimorado para manutenção preventiva e preditiva
 

A bomba criogênica On-Board® IS 320FX, desenvolvida especificamente para lidar com os desafios dos atuais processos de implante de íons, oferece maior velocidade e capacidade de bombeamento de hidrogênio, mantendo a qualidade, o desempenho e a confiabilidade que você espera. 

  • Projetado especificamente para aplicações de implante de íons
  • Otimizado para a produtividade da ferramenta
  • Tecnologia inteligente de "autoajuste"
  • Custo menor de propriedade
  • Aumento do tempo de atividade

 

A bomba criogênica On-Board® IS XP oferece maior capacidade para aplicações de PVD para alcançar a máxima produtividade, mantendo a transparência do processo. Ao mesmo tempo, aproveita a eficiência comprovada no consumo de energia, o desempenho consistente e o baixo custo de propriedade que você espera da On-Board® IS. 

  • Fornece maior capacidade para futuras melhorias de processo
  • Custo menor de propriedade
  • Maior tempo de atividade
  • Tecnologia inteligente de "autoajuste" para um desempenho de vácuo consistente

 

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