Acelere a integração e melhore a operação do sistema
As bombas de vácuo integradas CTI-Cryogenics da Edwards aceleram a integração e melhoram a operação do sistema - conhecidas como padrão mundial de confiabilidade e desempenho.
Bombas criogênicas integradas, com controles totalmente integrados e periféricos de suporte, oferecem tempo de atividade superior e desempenho consistente para aumentar a produtividade geral da ferramenta e o tempo de atividade.
Principais características
- Capacidade Fast Regen™ que estende o desempenho da bomba criogênica entre as regenerações
- Capacidade de regeneração simultânea, ativada pela rede de suas bombas criogênicas, que acelera a regeneração geral do sistema
- Um controle por microprocessador incorporado para melhorar o desempenho, executar rotinas de diagnóstico e fornecer capacidade de comunicação
- Software sofisticado e interfaces gráficas de usuário fáceis de usar, para melhorar significativamente o desempenho e a operação
| Modelo de bomba criogênica integrada | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Velocidades de bombeamento - litros/s. | ||||||||
| Vapor de água | 1.100 | 4.000 | 4.000 | 9.000 | 9.500 | 6.500 | 17.500 | 30.000 |
| Ar | 370 | 1.500 | 1.500 | 3.000 | 3.600 | 2.200 | 6.000 | 10.000 |
| Hidrogênio | 370 | 2.500 | 2.200 | 5.000 | 6.000 | 3.200 | 12.000 | 12.000 |
| Argônio | 310 | 1.200 | 1.200 | 2.500 | 3.000 | 1.800 | 5.000 | 8.400 |
| Capacidade - litro padrão | ||||||||
| Argônio | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2.500 | 6.000 |
| Hidrogênio (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Tempo de regeneração nominal (frio a frio) | ||||||||
| Primeiro e segundo estágios | 75 min | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | <3,3 horas | 3 horas | <3,8 horas |
| Segundo estágio | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1,5 horas | <1,5 horas | - |
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