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Bombas criogênicas integradas da Edwards

Bombas criogênicas integradas

Padrão mundial de confiabilidade e desempenho

Acelere a integração e melhore a operação do sistema

Bombas criogênicas integradas, com controles totalmente integrados e periféricos de suporte, oferecem tempo de atividade superior e desempenho consistente para aumentar a produtividade geral da ferramenta e o tempo de atividade.

 

Principais características

  • Capacidade Fast Regen™ que estende o desempenho da bomba criogênica entre as regenerações
  • Capacidade de regeneração simultânea, ativada pela rede de suas bombas criogênicas, que acelera a regeneração geral do sistema
  • Um controle por microprocessador incorporado para melhorar o desempenho, executar rotinas de diagnóstico e fornecer capacidade de comunicação
  • Software sofisticado e interfaces gráficas de usuário fáceis de usar, para melhorar significativamente o desempenho e a operação

Modelo de bomba criogênica integrada 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
Velocidades de bombeamento - litros/s.
Vapor de água 1.100 4.000 4.000 9,000 9.500 6.500 17.500 30.000
Ar 370 1.500 1.500 3.000 3.600 2.200 6.000 10.000
Hidrogênio 370 2.500 2.200 5.000 6.000 3.200 12.000 12.000
Argônio 310 1.200 1.200 2.500 3.000 1.800 5.000 8.400
Capacidade - litro padrão
Argônio 210 1.000 1.000 2.000 2.000 1.000 2.500 6.000
Hidrogênio (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
Tempo de regeneração nominal (frio a frio)
Primeiro e segundo estágios 75 min 2,5 horas 2,5 horas 2,5 horas 2,5 horas <3,3 horas 3 horas <3,8 horas
Segundo estágio <1 hora <1 hora <1 hora <1 hora <1 hora <1,5 horas <1,5 horas -

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