Os MaxCool Cryochillers da Edwards Polycold® são sistemas de refrigeração criogênica de circuito fechado que capturam efetivamente o vapor de água, que compreende de 65% a 95% do gás residual em sistemas de alto vácuo.
Esses refrigeradores criogênicos podem ser usados para capturar vapor de água e outras substâncias condensáveis congelando-os em uma superfície fria, como uma bobina criogênica ou defletor tipo chevron. Os MaxCool Cryochillers também são usados para resfriar e aquecer objetos, como mandris eletrostáticos usados no processamento de pastilhas de semicondutores. Os diferentes modelos da nossa linha proporcionam 4.000, 2.500 ou 2.000 watts de arrefecimento.
O vapor de água é geralmente o contaminante mais reativo presente em sistemas de alto vácuo. Com nossos MaxCool Cryochillers, você pode esperar um aumento de rendimento do produto em seu sistema existente de 20% a 100% e melhorar a qualidade da deposição.
Quando adicionados ao seu sistema de vácuo, os MaxCool Cryochillers podem reduzir drasticamente os tempos de bombeamento e aumentar o rendimento do produto. O MaxCool bombeará vapor de água em poucos minutos após a partida e poderá descongelar em menos de quatro minutos, proporcionando uma verdadeira capacidade de ciclo rápido. Ele também tem uma opção chamada resfriamento rápido a frio, que elimina o período de espera após o descongelamento, permitindo que o sistema execute mais ciclos de produção por turno.Usando misturas de refrigerante Polycold® patenteadas, nossos MaxCool Cryochillers trabalham no princípio da retenção Meissner. O vapor de água é capturado pela condensação em uma superfície resfriada criogenicamente, chamada de bobina Meissner. O Meissner (bobina criogênica) é montado diretamente na câmara de vácuo, de modo que a condutância não é limitada por portas, coletores, válvulas e defletores. A bobina criogênica é fácil de instalar e pode ser adaptada para qualquer sistema. Não precisa de uma válvula de alto vácuo.
Os MaxCool Cryochillers são a atualização mais econômica que você pode adicionar a qualquer sistema com bomba de difusão, turbo ou criogênica de hélio.
Os MaxCool Cryochillers estão em conformidade com os Refrigerantes de Aplicação Europeia (EC 1005/2009), o Protocolo de Montreal e o EPA SNAP dos EUA.
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MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidade máxima de resfriamento |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatura na capacidade máxima de resfriamento |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura mais fria |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pressão operacional máxima (25% da velocidade máxima de bombeamento) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de armadilha a frio (cold trap) |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidade máxima de bombeamento de vapor de água da área típica de armadilha a frio (cold trap) |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Área de armadilha a frio (cold trap) máxima conservadora* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo elétrico (Modo de espera) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consumo elétrico (Modo frio, carga típica) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consumo elétrico (Modo frio, carga máxima) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Fluxo de água de resfriamento para 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Compatível com PED europeu |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não tóxicos |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não inflamáveis |
Sim |
Sim |
Sim |
