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Linha MaxCool Cryochillers da Edwards

MaxCool Criochillers

Projetada para enfrentar desafios

Alcance níveis de vácuo mais baixos rapidamente

Esses refrigeradores criogênicos podem ser usados para capturar vapor de água e outras substâncias condensáveis congelando-os em uma superfície fria, como uma bobina criogênica ou defletor tipo chevron. Os MaxCool Cryochillers também são usados para resfriar e aquecer objetos, como mandris eletrostáticos usados no processamento de pastilhas de semicondutores. Os diferentes modelos da nossa linha proporcionam 4.000, 2.500 ou 2.000 watts de arrefecimento.

Bombeamento de vapor de água

O vapor de água é geralmente o contaminante mais reativo presente em sistemas de alto vácuo. Com nossos MaxCool Cryochillers, você pode esperar um aumento de rendimento do produto em seu sistema existente de 20% a 100% e melhorar a qualidade da deposição.

A vantagem MaxCool

  • Redução de até 75% no tempo de bombeamento de alto vácuo
  • Aumento do rendimento do produto de 20% a 100%
  • Menor pressão parcial do vapor de água durante o processamento para maior qualidade do filme, melhor adesão e deposição mais reprodutível
  • Superior em custo/desempenho para Meissners refrigerados com nitrogênio líquido
  • Minimize o custo de propriedade com gerenciamento de energia
  • Resfriamento e aquecimento de alta capacidade para uma ampla variedade de processos

MaxCool Cryochiller da Edwards Polycold

Quando adicionados ao seu sistema de vácuo, os MaxCool Cryochillers podem reduzir drasticamente os tempos de bombeamento e aumentar o rendimento do produto. O MaxCool bombeará vapor de água em poucos minutos após a partida e poderá descongelar em menos de quatro minutos, proporcionando uma verdadeira capacidade de ciclo rápido. Ele também tem uma opção chamada resfriamento rápido a frio, que elimina o período de espera após o descongelamento, permitindo que o sistema execute mais ciclos de produção por turno.

Usando misturas de refrigerante Polycold® patenteadas, nossos MaxCool Cryochillers trabalham no princípio da retenção Meissner. O vapor de água é capturado pela condensação em uma superfície resfriada criogenicamente, chamada de bobina Meissner. O Meissner (bobina criogênica) é montado diretamente na câmara de vácuo, de modo que a condutância não é limitada por portas, coletores, válvulas e defletores. A bobina criogênica é fácil de instalar e pode ser adaptada para qualquer sistema. Não precisa de uma válvula de alto vácuo.

Os MaxCool Cryochillers são a atualização mais econômica que você pode adicionar a qualquer sistema com bomba de difusão, turbo ou criogênica de hélio.

Os MaxCool Cryochillers estão em conformidade com os Refrigerantes de Aplicação Europeia (EC 1005/2009), o Protocolo de Montreal e o EPA SNAP dos EUA.

Benefícios

  • Maior produtividade com a opção de resfriamento rápido a frio
  • Opção de gerenciamento de energia para minimizar o custo de propriedade
  • Controle da temperatura
  • A carga de refrigerante ecológico patenteada é globalmente compatível, não tóxica e não inflamável
  • Baseada na comprovada e inovadora refrigeração a gás misto, confiável e comprovada da Polycold®
  • Compatível com PED e MD da UE
  • TUV Rheinland listado para os padrões de segurança da NRTL/CANADÁ
  • Fabricante com certificação ISO 9001:2008

Especificações dos modelos MaxCool

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Capacidade máxima de resfriamento

2.000 W

2.500 W

4.000 W

Temperatura na capacidade máxima de resfriamento

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Temperatura mais fria

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Pressão operacional máxima (25% da velocidade máxima de bombeamento)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

Área típica de armadilha a frio (cold trap)

1,1 m2

1,4 m2

2,2 m2

Velocidade máxima de bombeamento de vapor de água da área típica de armadilha a frio (cold trap)

163.900 l/s

208.600 l/s

327.800 l/s

Área de armadilha a frio (cold trap) máxima conservadora*

1,5 m2

2,0 m2

2,8 m2

Consumo elétrico (Modo de espera)

5,5 kW

11,4 kW

12,0 kW

Consumo elétrico (Modo frio, carga típica)

6,2 kW

13,9 kW

12,4 kW

Consumo elétrico (Modo frio, carga máxima)

8,8 kW

19,2 kW

19,2 kW

Fluxo de água de resfriamento para 13 °C

6,8 l/min

15,1 l/min

15,1 l/min

Fluxo de água de resfriamento para 18 °C

9,1 l/min

18,2 l/min

18,2 l/min

Fluxo de água de resfriamento para 24 °C

13,6 l/min

27,3 l/min

27,3 l/min

Fluxo de água de resfriamento para 29 °C

27,6 l/min

54,1 l/min

54,1 l/min

Compatível com PED europeu

Sim

Sim

Sim

Refrigerantes não tóxicos

Sim

Sim

Sim

Refrigerantes não inflamáveis

Sim

Sim

Sim

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