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Spectra

Para monitores de tela plana e fabricação de células solares

O Spectra encontra o alto desempenho com consciência ambiental

Redução

• exclusiva tecnologia de combustão de 4 estágios

• redução eficiente de SiH4

• alta capacidade de redução de fluxo de H2

• excelente gestão de altos fluxos de NF3 / F2

• alta capacidade de redução de NH3

• Projeto modular de redução e gerenciamento de partículas

• 80% de eficiência na remoção de pó

Lavagem de gás ácido

• Lavador úmido integrado

• Unidade de recirculação de água para otimizar o consumo de água

Captura de pó

Spectra ZW2 – redução resfriada a água com remoção de partículas

• Precipitador Eletrostático Úmido Modular (WESP)

• Remoção de 99% de partículas

• Alta capacidade de manuseio de carga de pó

• Baixo custo de propriedade em relação a soluções alternativas

Soluções ambientais da Edwards para fabricação de semicondutores