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Proteus

A nova referência na redução de gases de efeito estufa

Edwards Proteus

O Proteus é uma solução de baixo consumo de energia, fácil de usar e econômica para reduzir a pegada de carbono na fabricação de semicondutores.

  • Tecnologia de Plasma de baixa potência e alta eficiência
  • Modulação de potência de plasma
  • Baixas emissões de NOx
  • MTBS longo
  • Proteção do tempo de atividade com Proteus Dual

  1. Uma exclusiva tecnologia de plasma de baixo consumo de energia que atinge alta eficiência na taxa de destruição (DRE) de gases PFC, como CF4 e outros gases de aquecimento global, como SF6, NF3 e N2O. Isso torna o Proteus uma das soluções mais econômicas para a redução de gases de aquecimento global dos processos de fabricação de semicondutores.
  2. A potência operacional do Proteus Plasma é totalmente ajustável em função da carga de gás de entrada, permitindo que os usuários minimizem o consumo de energia, mantendo a eficiência de tratamento ideal. A interface com a ferramenta de processo e a Modulação automática de potência de plasma oferece mais oportunidades para reduzir os custos de operação, mantendo o mais alto desempenho ambiental.
  3. A redução do gás PFC requer altas temperaturas que promovem a formação de gases NOx. A tecnologia Proteus Plasma foi desenvolvida para minimizar as emissões de “NOx térmico” e está agora é um dos principais sistemas de redução de PFC de “baixo NOx”.
  4. A destruição das moléculas de PFC tende a aumentar a carga de ácido através da criação de compostos tóxicos e corrosivos solúveis em água. A tocha de plasma Proteus e os estágios de lavagem úmida foram projetados especificamente para minimizar a corrosão dos componentes. Combinado com uma excelente capacidade de manuseio de pó, o Proteus é capaz de atingir MTBS longo, mantendo um ambiente de trabalho seguro na fábrica.
  5. O Proteus Dual oferece uma solução de "backup" totalmente integrada para ajudar a garantir a disponibilidade de redução sem a necessidade de tubulação e interfaces complicadas. O Proteus Dual é uma solução econômica e fácil de instalar. Ele ajuda a manter o tempo de atividade do processo, reduzir a área ocupada e os custos de instalação, aumentando a segurança da subfábrica.

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