Existem duas formas principais de causarmos um impacto positivo no meio ambiente; em primeiro lugar, tornando nossos produtos mais eficientes e eficazes no que fazem e, em segundo lugar, como gerenciamos nosso impacto sobre o meio ambiente dentro de nossa empresa.
Nós nos preocupamos com a sustentabilidade e estamos trabalhando para garantir que as coisas que fazemos, e a forma como as fazemos, se tornem mais sustentáveis. Fizemos várias alterações importantes em projeto de produto, impulsionadas por considerações ambientais. O uso eficiente de recursos é crucial no projeto e desenvolvimento de nossos produtos, reduzindo o custo de propriedade para os clientes, com ênfase especial na redução do consumo de energia e água.
Emissões de carbono reduzidas de produtos de última geração
Bombas primárias
Reduzindo o consumo de energia às bombas de processo de nossos clientes, na indústria de semicondutores são um dos maiores consumidores de energia em uma ferramenta de processo, que, por sua vez, pode representar mais de um terço do uso de energia de uma fábrica (pesquisa da SEMATECH Energy). A base instalada global de bombas de vácuo para semicondutores consome a energia equivalente de Sheffield no Reino Unido ou Plano no Texas, EUA.
Projetamos para economizar energia e reduzir os custos de utilities sem comprometer a confiabilidade. Usando um processo de projeto de plataforma, cada geração sucessiva de nossas bombas primárias consome menos energia. Por exemplo, as bombas secas de última geração usam cerca de 30% menos energia do que anteriormente. Agora, com a introdução do Active Utility Control (AUC), reduzimos ainda mais o consumo de energia, e ainda mais quando as bombas estão inativas devido ao uso dos sinais da ferramenta.
Asseguramos que os benefícios da nossa tecnologia de plataforma de última geração sejam usados em toda a nossa linha de bombas. Esses benefícios são disponibilizados para clientes que usam bombas de geração mais antiga através dos programas de atualização de eficiência energética da Edwards.
Também assessoramos os clientes na minimização da energia usada por nossos equipamentos.
Bombas secundárias
A redução do consumo de energia global é fundamental na luta contra o aquecimento global. Além de minimizar a energia que nossas instalações de produção e escritórios consomem, nossas mais recentes gerações de linhas de bombas turbomoleculares permitem que nossos clientes atendam às suas metas de redução de energia. A Edwards oferece programas de atualização que permitem que os clientes alternem para a tecnologia de bomba turbomolecular com eficiência energética.
Alguns benefícios da troca de bombas de difusão de óleo para bombas turbomoleculares STP:
- Menor custo de serviços básicos (Energia e Água)
- Sem manutenção anual ou trocas de óleo
- Melhor desempenho de bombeamento
- Ruído ambiente muito baixo e baixa vibração
- Requisitos de espaço reduzidos
Abatement
Os processos de fabricação de semicondutores utilizam gases, tais como o per fluorocarbonos e o sulfurhexafluoreto, que são de grande preocupação ambiental devido à sua persistência e ao elevado potencial de Aquecimento Global (GWP). Essas substâncias podem ter GWPs 1000 vezes mais que o dióxido de carbono. Por exemplo: se o CO2 tiver um potencial de aquecimento global (GWP) de 1 em 100 anos, no mesmo período - o SF6 tem um GWP de 23.500, o NF3 tem um GWP de 16.100 e o CF4 tem um GWP de 6.630. (Fonte: IPCC Fifth Assessment Report, 2014).
Estamos ajudando nossos clientes a atingir altos níveis de eficiência na remoção de destruição dessas substâncias desde meados da década de 1990, usando nossa tecnologia de Abatement de combustão. Mais recentemente, com a tecnologia de plasma, os nossos clientes conseguiram atingir reduções de CO2 superiores a 90% em fábricas inteiras, em conformidade com os objetivos do Conselho Mundial de Semicondutores. Para a produção de painéis planos e dispositivos ambientais emergentes, como painéis solares e iluminação LED, desenvolvemos os sistemas de Abatement Spectra Z e Spectra G para lidar com fluxos de gás mais elevados.
Nossos produtos de abatement Atlas usam até 50% menos combustível do que as linhas anteriores. A Edwards também oferece a tecnologia Atlas como uma atualização eficiente no uso de energia para as linhas anteriores de produtos de abatement. Combinando bombas e sistemas de abatement, também economizamos energia aplicando a inovadora tecnologia de “modo ocioso”.
