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세계적인 솔루션 | Edwards의 가장 수요가 많은 제품
Gamma UHV 펌프
휴대용 질량 분석기에서 대규모 입자 분석기에 이르는 다양한 응용 분야에 고진공 및 UHV(초고진공) 환경을 생성합니다.
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iXL 건식 펌프
FPD(평판 디스플레이) 및 Solar Manufacturing 시장 부문에서 발생하는 전체 범위의 펌프다운 요구 사항을 다룹니다.
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IPUP2 건식 펌프
웨이퍼 처리 및 기타 세척 작업을 위한 소형 저전력 180m3/h 건식 펌프입니다. 에너지 소비량이 낮으며 로드록 챔버를 빠르게 펌프다운합니다.
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CXS 건식 펌프
가장 어려운 열악한 화학 및 제약 처리 응용 분야에서도 뛰어난 안정성과 폐수가 없는 펌핑을 제공합니다.
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Atlas 정화 처리 장비
반도체, 평판 디스플레이, 태양열 및 MOCVD 제조업체를 위한 연소 가스 제거 솔루션으로 운영 비용이 저렴하고 사용하기 편리합니다.
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EPX 건식 펌프
애싱(Ashing)/포토레지스트 제거 및 주입 엔드 스테이션 응용 분야 같은 무공해 및 저부하 반도체 공정 응용 분야를 지원합니다.
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GXS 건식 펌프
독특한 나사 기술 및 선도적 고효율 드라이브를 통해 첨단 온도 제어 기능 및 긴 서비스 간격을 사용할 수 있으며 최고의 펌핑 속도 및 저렴한 운영 비용을 보장합니다.
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iXH 건식 펌프
열악한 공정에서 최대 안정성을 보장하는 기능이 장착되어 최대 배기 속력을 제공합니다. FPD, 태양열 반도체 및 LED 제조 산업에서 발생한 가스 유량 요구 사항을 충족합니다.
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nEXT 터보 펌프
과학 터보 펌프의 새로운 벤치마크를 설정합니다. 최고의 터보 펌프 성능, 안정성 및 최종 사용자 서비스 가능성을 제공합니다.
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nXDS 스크롤 펌프
뛰어난 펌핑 성능, 최고의 진공 성능 및 첨단 설계가 어우러진 동급 최고의 성능을 발휘하는 펌프입니다.
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Spectra G 제거
질화물 MOCVD 제조를 위한 비용 효과적인 고성능 배기 처리 솔루션입니다.
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STP 터보 펌프
작동 중에는 다중 축 자기 베어링 시스템을 사용하여 로터를 일시 정지하므로 오염될 위험이 전혀 없으며, 진동과 소음 및 유지 보수의 필요성을 최소화할 수 있습니다. 가동 시간이 길고 탄화수소가 허용되지 않는 펌핑 작업에 가장 좋습니다.
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iGX 건식 펌프
세척부터 중간 부하 공정에 이르기까지 광범위한 피크 속도 및 사양으로 사용할 수 있습니다.
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EZENITH
시스템의 진보적 제품은 모든 반도체 공정 응용 분야에 대해 완전히 통합된 진공 및 배기부 관리 솔루션을 제공합니다.
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iH 건식 펌프
미립자, 응축성 또는 부식성 부산물이 발생하는 중공정에서 높은 신뢰도를 발휘하는 경제적인 펌프입니다.
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ES 펌프
생산성과 성능을 최대로 합니다. 단단계 오일 씰 회전식 베인 펌프 분야가 상당히 발전했습니다.
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Gamma UHV 펌프
휴대용 질량 분석기에서 대규모 입자 분석기에 이르는 다양한 응용 분야에 고진공 및 UHV(초고진공) 환경을 생성합니다.
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iXL 건식 펌프
FPD(평판 디스플레이) 및 Solar Manufacturing 시장 부문에서 발생하는 전체 범위의 펌프다운 요구 사항을 다룹니다.
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IPUP2 건식 펌프
웨이퍼 처리 및 기타 세척 작업을 위한 소형 저전력 180m3/h 건식 펌프입니다. 에너지 소비량이 낮으며 로드록 챔버를 빠르게 펌프다운합니다.
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CXS 건식 펌프
가장 어려운 열악한 화학 및 제약 처리 응용 분야에서도 뛰어난 안정성과 폐수가 없는 펌핑을 제공합니다.
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Atlas 정화 처리 장비
반도체, 평판 디스플레이, 태양열 및 MOCVD 제조업체를 위한 연소 가스 제거 솔루션으로 운영 비용이 저렴하고 사용하기 편리합니다.
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EPX 건식 펌프
애싱(Ashing)/포토레지스트 제거 및 주입 엔드 스테이션 응용 분야 같은 무공해 및 저부하 반도체 공정 응용 분야를 지원합니다.
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독특한 나사 기술 및 선도적 고효율 드라이브를 통해 첨단 온도 제어 기능 및 긴 서비스 간격을 사용할 수 있으며 최고의 펌핑 속도 및 저렴한 운영 비용을 보장합니다.
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iXH 건식 펌프
열악한 공정에서 최대 안정성을 보장하는 기능이 장착되어 최대 배기 속력을 제공합니다. FPD, 태양열 반도체 및 LED 제조 산업에서 발생한 가스 유량 요구 사항을 충족합니다.
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과학 터보 펌프의 새로운 벤치마크를 설정합니다. 최고의 터보 펌프 성능, 안정성 및 최종 사용자 서비스 가능성을 제공합니다.
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Spectra G 제거
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작동 중에는 다중 축 자기 베어링 시스템을 사용하여 로터를 일시 정지하므로 오염될 위험이 전혀 없으며, 진동과 소음 및 유지 보수의 필요성을 최소화할 수 있습니다. 가동 시간이 길고 탄화수소가 허용되지 않는 펌핑 작업에 가장 좋습니다.
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세척부터 중간 부하 공정에 이르기까지 광범위한 피크 속도 및 사양으로 사용할 수 있습니다.
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iH 건식 펌프
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ES 펌프
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