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활성 게이지 및 컨트롤러

Edwards의 검증된 기술: 200mbar에서 5e-10mbar까지 측정 후 용도에 맞는 적절한 게이지를 선택합니다.

시스템을 맞춤 구성할 수 있는 유연성:

특정 요구 사항이 있는 모든 공정에는 필요에 맞는 올바른 게이지를 사용할 수 있도록 여러 가지 게이지 유형이 제공됩니다. 

표준 및 부식 방지 모델로 제공되는 견고한 APG100 Pirani 게이지에서 대기 상태에서 1e-4mbar까지 측정하며, WRG 냉음극/Pirani 조합 게이지는 대기 상태에서 1e-9mbar까지 측정합니다.

Active Gauge 제품군

Edwards 활성 게이지 제품군

컨트롤러 – 시스템의 로컬 디스플레이 및 제어

  • 상용 솔루션을 원하는 경우 ADC 제품군을 통해 기본 싱글/듀얼 헤드 게이지 디스플레이를 제공합니다. 
  • 더 많은 연결 및 제어를 원하는 고객을 위해 TIC 제품군을 보유하고 있습니다. 이 기능은 최대 6개의 게이지 헤드를 제어하고 RS232 인터페이스/설정 지점 출력을 통해 시스템에서 다른 작업을 트리거할 수 있습니다. 
  • 소형 건식 펌프 범위와 다음 터보 분자 펌프 범위를 제어할 수 있는 변형 모델을 사용하여 소형 시스템을 만들 수 있습니다.

범용 컨트롤러

각 컨트롤러는 활성 게이지 유형의 혼합을 제어할 수 있음

검교정

모든 게이지는 추가 보정 인증서와 함께 구매할 수 있습니다.

서비스

대부분의 프로세스에 공구가 필요 없어 각 게이지에 대한 간단한 서비스 절차