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활성 게이지 및 컨트롤러

Edwards의 검증된 기술로 작업에 가장 적합한 게이지를 선택하세요.

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활성 피라니 게이지

Edwards APG200 Left Angle Top Front View

Edwards의 APG200 Pirani Gauge

컴팩트한 크기, LED 라이트 링 및 통합형 설정값으로 인해 다양한 응용 분야에 적합한 완벽한 진공 솔루션입니다.

Edwards의 영국 생산 시설은
수십 년간 진공 측정 장치를 설계 및 생산을 해 왔습니다. 이러한 경험을 통해 제품 크기를 25%  감소하면서 성능은 저하되지 않는 게이지를 개발할 수 있었습니다.
APG200은 다양한 업그레이드와 옵션으로 작은 크기와 유연한 출력이 요구되는 분석 기기부터
새로운 인터페이스와 라이트 링으로 시스템을 보다 효율적으로 유지 관리할 수 있는 반도체 산업, 그리고 메인 인터페이스에서 떨어져 부분 압력 지표를 모니터링해야는 R&D 산업까지 모든 진공 시장에 적합한 솔루션이 있습니다.

활성 선형 대류 진공 게이지

APGX-H Active Linear Convection Gauge

활성 선형 대류 진공 게이지(APGX-H)

활성 선형 대류 진공 게이지(APGX-H)의 측정 범위는 1333 ~ 3 x 10-4mbar입니다. 대류 기술의 사용으로 정확성과 감도가 100mbar 이상의 정확도를 상실하는 기존 피라니 게이지와 비교하여 최고 수준의 압력 범위로 유지됩니다. 게이지는 콤팩트하며 어떤 방향으로든 장착할 수 있어 공간이 제한된 곳에 간단하게 설치할 수 있습니다.

활성 전환형 마그네트론 게이지

AIM Active Inverted Magnetron Gauge

Edwards 활성 전환형 마그네트론(AIM) 게이지

AIM(활성 전환형 마그네트론) 게이지는 1 x 10-2 ~ 1 x 10-9 mbar의 진공 범위에서 정확한 측정을 제공합니다. 이러한 게이지는 과학 장비부터 산업 공정에 이르기까지 다양한 분야에서 견고하고 안정적인 것으로 입증되었습니다. AIM-X 게이지는 하나의 소형 장치에 결합된 전환형 마그네트론 게이지 헤드 및 게이지 컨트롤러이며, 선형 출력을 통해 컴퓨터 또는 PLC와 쉽게 통합할 수 있습니다 .XL 모델은 매우 낮은 외부 자기장을 가지고 있으며, 이는 민감한 분석 기기 또는 게이지가 터고분자 펌프 가까이에 장착되어야 하는 응용 분야에 이상적입니다.

광범위 게이지

Edwards WRG Wide Range Gauge

Edwards 광범위 게이지(WRG)

광범위 게이지(WRG) 제품군은 선형 출력과 함께 범위 대기에서 단일 포트 압력 측정 기능을 10-9mbar까지 제공합니다. 이 제품은 공간과 연결 하드웨어 요구 사항을 충족하는 콤팩트한 솔루션으로서, 많은 응용 분야에서 모두 중요한 역할을 합니다. WRG에는 특허 받은 스트라이커, 푸시 버튼 보정, 설정값 제어, 종합 진단 등 다양한 새로운 기능이 있습니다. WRG는 Edwards 컨트롤러와 함께 사용하거나 진공 시스템 제어장치에 직접 통합되는 비용 효율적인 진공 관리 솔루션입니다.

활성 이온 게이지

ActiveX Ion Gauge

Edwards 활성 이온 게이지(AIGX)

활성 이온 게이지(AIGX)는 이중 yttria 코팅 이리듐 필라멘트가 있는 소형 활성 이온 게이지로, 6.6 x 10-2 ~ 6.6 x 10-10mbar의 광범위한 측정 범위 및 1V/10 선형 출력을 제공합니다. AIGX는 업계 표준 활성 계측 개념의 모든 장점을 통합 전자 장치 및 교체식 튜브와 통합합니다. 게이지에는 가스 제거 기능이 있으며 필라멘트 수명을 보호하고 연장하는 기능이 포함되어 있습니다. AIGX는 매우 적은 전하 입자의 배출로 인해 이점이 있기 때문에 배경 소음이 바람직하지 않은 공정에 매우 적합합니다.

활성 열음극 광범위 게이지

Edwards Wide Range Gauge (WRH) Hot Cathode Pirani Gauge

Edwards 활성 열음극 광범위 게이지(WRH)

활성 열음극 광범위 게이지(WRH)는 단일 게이지로 대기로부터 10-10mbar까지 정확도와 반복성을 통해 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. WRH 게이지는 하나의 패키지로 두 가지 측정 방법(Bayard-alpert 및 피라니)을 활용하여 시스템을 측정하고 제어하는 데 필요한 모든 것을 제공합니다. D-SUB 커넥터를 통해 아날로그 및 RS485 출력을 사용할 수 있으며, 2개의 온보드 릴레이와 손쉬운 보정, 제어 및 모니터링이 간편합니다. 포함된 소프트웨어를 사용하면 시스템 성능을 쉽게 추적 및 기록하고 설정값 설정 또는 출력 배율 변경 등의 게이지 동작을 조정할 수 있습니다. 이 게이지는 R&D 연구소, 고급 질량분석법부터 일반 산업에 이르기까지 다양한 분야에서 사용할 수 있는 완벽한 동반자입니다.

시스템을 맞춤 구성할 수 있는 유연성:

특정 요구 사항이 있는 공정에서 필요에 맞는 올바른 게이지를 사용할 수 있도록 여러 가지 게이지 유형을 제공할 수 있습니다. 

표준 및 부식 방지 모델로 제공되는 견고한 APG200 피라니 게이지에서 대기 상태에서 1 x 10­4mbar까지 측정하며, WRG 냉음극/피라니 조합 게이지는 대기 상태에서 1 x 10-9mbar까지 측정합니다.

Active Gauge 제품군

Edwards 활성 게이지 제품군

컨트롤러 – 로컬 시스템 디스플레이 및 제어

  • 상용 솔루션을 원하는 경우 ADC 제품군을 통해 기본 싱글/듀얼 헤드 게이지 디스플레이를 제공합니다. 
  • 더 많은 연결 및 제어를 원하는 고객을 위해 TIC 제품군을 보유하고 있습니다. 이 기능은 최대 6개의 게이지 헤드를 제어하고 RS232 인터페이스/설정 지점 출력을 통해 시스템에서 다른 작업을 트리거할 수 있습니다. 
  • 소형 건식 펌프와 nEXT 터보 분자 펌프를 제어할 수 있는 변형 모델을 조합해 소형 시스템을 만들 수 있습니다.

주요 기능 개요

 
  • 범용 컨트롤러: 각 컨트롤러는 활성 게이지 유형의 혼합을 제어할 수 있습니다.
  • 보정: 모든 게이지는 추가 보정 인증서와 함께 구매할 수 있습니다. 
  • 서비스: 대부분의 공정에 공구가 필요 없어 각 게이지에 대한 간단한 서비스 절차

문서