터보 분자 펌프는 다단계 축류 터빈으로, 고속 회전날이 펌핑 방향으로 가스가 이동할 가능성을 높여 압축력을 제공합니다. 터보 분자 펌프는 분자 흐름 조건에 맞게 최적화되며 대기로 배출하기 위해 적절한 크기의 배압 펌프가 필요합니다.
nEXT 터보 분자 펌프는 수십 년의 경험을 바탕으로 구축되었으며 시험과 테스트를 거친 EXT 및 STP 제품군에서 파생된 것입니다. nEXT 펌프는 월등한 성능, 신뢰성을 제공하며 최종 사용자가 서비스할 수 있어 과학적인 터보 분자 펌프의 새로운 기준을 제시합니다.
펌프 크기는 85, 240, 300, 400으로 제공되며, 이제 nEXT 제품군(N2)에 초당 700 및 900리터의 펌핑 속도 성능을 추가했습니다.
기존 터보 분자 펌프 로터는 고속 또는 고압축을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 단점을 제거하기 위해 nEXT 로터의 블레이드 배열을 완전히 재설계하여 펌프 성능을 최적화하고 더 높은 속도 및 높은 압축을 달성하였습니다. 그 결과 해당 크기의 펌프에 비해 펌핑 성능이 뛰어납니다.
nEXT85는 성능이 향상되고 기능과 이점이 개선되었으며, 설치 면적이 줄어든 최고의 EXT 제품군을 기반으로 합니다. 여기 Edwards의 제품 관리자인 John Wood가 이 새로운 터보 분자 펌프를 소개합니다.
nEXT730과 nEXT930을 통해 Edwards는 질소의 경우 700 l/s 및 900 l/s 이상의 뛰어난 펌핑 속도를 자랑하는 대형 펌프 두 가지를 새롭게 출시하여 업계를 선도하는 nEXT 플랫폼의 범위를 더욱 확장합니다.
이 펌프들은 일반 연구 개발 시장 뿐만 아니라, 때때로 더욱 빠른 펌핑 속도가 요구되는 분야, 즉 열처리, 용광로 애플리케이션, 전자빔 용접, 식각, 이온 임플란트, 탈기, 실린더 배출과 같은 코팅 및 기타 확산 분야 시장에 필요한 요건 또한 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
8만 번 이상의 검증된 nEXT 펌프 생산 방식을 통해 더 까다롭고 새로운 부문 및 응용 분야에 더 높은 펌핑 속도와 유연성을 제공할 수 있게 되었습니다. 이 새로운 모델은 ISO/CF 160 및 ISO/CF 200의 흡입구 플랜지 옵션을 갖추고 nEXT의 기능을 확장하여 900l/s 이상의 펌핑 속도를 제공합니다.
높은 신뢰성과 낮은 소유 비용으로 동급 최고의 성능을 제공합니다.
| nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| 흡입 플랜지 | DN40 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN160 ISO-K 또는 DN160-CF | |
| 흡입구 펌핑 속도 ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 61 | 78 | 80/78(D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| 압축비(D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107(D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
| H2 | 2 x 105/5 x 105(D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
| 압축비(T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
| H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | ||||
| nEXT730D | nEXT930D | |||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
| 메인 흡입구 펌핑 속도 |
||||
| N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
| He ls-1 | 820 | 905 | ||
| H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
| Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
| 보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율 | ||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
| He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
| H2 | 4X106 | 4X106 | ||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
| 최대 압력 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
| 중량(kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
| 최대 속도에서의 처리량: | ||||
| N2 | 14 | 14 | ||
| He | 21 | 21 | ||
| H2 | >14 | >14 | ||
| Ar | 3.5 | 3.5 | ||
