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nEXT 메카니칼 터보 분자 펌프

Edwards nEXT 메카니칼 터보 분자 펌프

터보 분자 펌프는 멀티 스테이지 축류 터빈으로, 고속 회전날이 펌핑 방향으로 가스가 이동할 가능성을 높여 진공 환경을 만들어냅니다. 터보 분자 펌프는 분자 흐름 조건에 최적화되며 대기로 배출하기 위해 적절한 크기의 배압 펌프가 필요합니다.   

nEXT의 뛰어난 성능

nEXT는 질소 펌핑 속도 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 및 1250l/s 크기의 터보 분자 펌프 분야에서 모든 최신 기술을 결합하여 설계되었습니다. 이러한 펌프는 사용자가 서비스할 수 있으며, 진정으로 최상의 솔루션을 보장합니다.

nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프

nEXT55 및 nEXT85는 nEXT 제품 중 가장 콤팩트한 제품으로, 높이가 크게 감소하고 더 작은 패키지로 성능이 크게 개선되었습니다. 이 펌프는 질소를 55l/s 및 85l/s의 속도로 펌핑하며, 유사한 크기의 터보 펌프 속도의 거의 두 배에 달하는 펌핑 속도로 동급 최강의 펌핑 밀도를 제공합니다.

nEXT240, nEXT300 및 nEXT400 터보 분자 펌프

nEXT240, nEXT300 및 nEXT400은 수십 년 간의 경험과 검증이 된 Edwards의 EXT 및 STP 제품군을 기초로 연구분야의 터보 분자 펌프에 대한 높은 기준을 수립했습니다. 우리는 이렇게 오랜 기간 확립된 모델을 통해 OEM 기업들과 사용자에게 광범위한 크기와 여러 제품군으로 더 많은 선택권을 제공하고 각자의 필요에 맞게 가장 적합한 진공 솔루션을 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다.

nEXT730, nEXT930 및 새로운 nEXT1230 터보 분자 펌프

nEXT730 및 nEXT930을 통해 Edwards는 730l/s 및 925l/s 이상의 높은 속도로 질소를 제공하는 두 개의 대형 펌프로 시장을 선도하는 nEXT 플랫폼 제품군으로 확장했습니다. 우리는 이러한 제품 개발을 더 확장하여 질소 펌핑 속도가 1250l/s인 nEXT1230을 포함시켰습니다. 이 소형 펌프는 어떤 방향으로든 작동할 수 있으며 냉각, 환기, 전원 공급 및 제어를 위한 다양한 액세서리로 지원됩니다.
이러한 펌프는 때로 더 빠른 펌핑 속도가 필요한 일반적인 R&D 시장에 대처할 뿐만 아니라, 열 처리, 용광로 작업, Ebeam 용접, 에칭, 이온 임플란트, 가스 제거 및 실린더 배출과 같은 코팅 시장과 기타 분산 시장 부문의 요구 사항을 만족하도록 설계되었습니다.

nEXT55

nEXT1230

nEXT55 및 85

nEXT240, 300, 400

nEXT730, 930, 1230

 

8만 번 이상의 검증된 nEXT 펌프 생산 방식을 통해 더 까다롭고 새로운 부문 및 응용 분야에 더 높은 펌핑 속도와 유연성을 제공할 수 있게 되었습니다. 새로운 모델은 nEXT의 기능을 확장하여 DN ISO/CF 160 및 DN ISO/CF 200의 흡입구 플랜지 옵션을 갖추었습니다.

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우수한 펌핑 속도와 압축 비율

월등한 성능

터보 펌프의 대형 설비 베이스

안심할 수 있는 검증된 신뢰성

맞춤 설계 서비스 옵션

유연한 솔루션

지능형 통합 컨트롤

용이한 사용

최종 사용자도 서비스 가능한 간편함

더욱 길어진 제품 수명과 낮은 보유 비용

넓어진 고객의 선택

다양한 표준 모델 선택

  nEXT55 nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
흡입 플랜지   DN63 ISO-K 또는 DN63CF DN40 DN63 ISO-K 또는 DN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-K 또는 DN100CF DN100 ISO-K 또는 DN100CF DN160 ISO-K 또는 DN160-CF
흡입구 펌핑 속도 ls-1 N2 55 47 84 84 240 300 400
Ar 55 44 80 80 230 280 380
He 41 61 78 80/78(D/H) 230 340 390
H2 27 49/44(D/H) 60/54(D/H) 60/54(D/H) 165 280 325
압축비(D) N2 >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He   8 x 106/2 x 107(D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2   2 x 105/5 x 105(D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
압축비(T/H) N2         >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He         1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2         1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D nEXT1230
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200 DN 200 CF DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K
메인 흡입구
펌핑 속도
 
N2 ls-1 730 925 1250
He ls-1 820 905 1150
H2 ls-1 715 735 1350
Ar ls-1 665 865 1150
보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율  
N2 >1x1011 >1x1011 1 x 1011
He 1.2X108 1.2X108 4 x 108
H2 4X106 4X106 1 x 107
Ar >1x1011 >1x1011 1 x 1011
최대 압력 (mbar) (CF) 3.0X10-10 3.0X10-10 <5 x 10-10 ISO-K 및 ISO-F에 대한 높은 압력을 나타냅니다.
중량(kg) 14.6 19.6 15.4 21.7 32.6 24.9 23.7
최대 속도에서의 처리량:  
N2 14 14 12
He 21 21 <20
H2 >14 >14 <20
Ar 3.5 3.5 4
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