터보 분자 펌프는 멀티 스테이지 축류 터빈으로, 고속 회전날이 펌핑 방향으로 가스가 이동할 가능성을 높여 진공 환경을 만들어냅니다. 터보 분자 펌프는 분자 흐름 조건에 최적화되며 대기로 배출하기 위해 적절한 크기의 배압 펌프가 필요합니다.
nEXT 터보 분자 펌프는 테스트를 거쳐 신뢰할 수 있는 EXT 및 STP 범위를 기반으로 합니다.
이 제품은 탁월한 성능, 신뢰성 및 최종 사용자 실용성을 제공하여 과학적 터보 분자 펌프의 기준을 제시합니다.
nEXT는 질소 펌핑 속도 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 및 1250l/s 크기의 터보 분자 펌프 분야에서 모든 최신 기술을 결합하여 설계되었습니다. 이러한 펌프는 사용자가 서비스할 수 있으며, 진정으로 최상의 솔루션을 보장합니다.
nEXT730 및 nEXT930을 통해 Edwards는 730l/s 및 925l/s 이상의 높은 속도로 질소를 제공하는 두 개의 대형 펌프로 시장을 선도하는 nEXT 플랫폼 제품군으로 확장했습니다. 우리는 이러한 제품 개발을 더 확장하여 질소 펌핑 속도가 1250l/s인 nEXT1230을 포함시켰습니다. 이 소형 펌프는 어떤 방향으로든 작동할 수 있으며 냉각, 환기, 전원 공급 및 제어를 위한 다양한 액세서리로 지원됩니다.이러한 펌프는 때로 더 빠른 펌핑 속도가 필요한 일반적인 R&D 시장에 대처할 뿐만 아니라, 열 처리, 용광로 작업, Ebeam 용접, 에칭, 이온 임플란트, 가스 제거 및 실린더 배출과 같은 코팅 시장과 기타 분산 시장 부문의 요구 사항을 만족하도록 설계되었습니다.
nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
흡입 플랜지 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN160 ISO-K 또는 DN160-CF | |
흡입구 펌핑 속도 ls-1 | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 41 | 61 | 78 | 80/78(D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 27 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | |
압축비(D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107(D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
H2 | 2 x 105/5 x 105(D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
압축비(T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | ||||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | |||||
H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
메인 흡입구 펌핑 속도 |
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N2 ls-1 | 730 | 925 | 1250 | ||||
He ls-1 | 820 | 905 | 1150 | ||||
H2 ls-1 | 715 | 735 | 1350 | ||||
Ar ls-1 | 665 | 865 | 1150 | ||||
보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율 | |||||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | 4 x 108 | ||||
H2 | 4X106 | 4X106 | 1 x 107 | ||||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
최대 압력 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | <5 x 10-10 | ISO-K 및 ISO-F에 대한 높은 압력을 나타냅니다. | |||
중량(kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 | 32.6 | 24.9 | 23.7 |
최대 속도에서의 처리량: | |||||||
N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
He | 21 | 21 | <20 | ||||
H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
Ar | 3.5 | 3.5 | 4 |