터보 분자 펌프는 다단계 축류 터빈으로, 고속 회전날이 펌핑 방향으로 가스가 이동할 가능성을 높여 압축력을 제공합니다. 터보 분자 펌프는 분자 흐름 조건에 맞게 최적화되며 대기로 배출하기 위해 적절한 크기의 배압 펌프가 필요합니다.
nEXT 터보 분자 펌프는 수년의 경험과 수차례 테스트를 거친 EXT 및 STP 제품군에서 파생되었습니다. nEXT 펌프는 월등한 성능, 신뢰성을 제공하며 사용자가 서비스할 수 있어 연구분야의 터보 분자 펌프에 대한 새로운 기준을 제시합니다.
nEXT는 질소 펌핑 속도 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 및 1250l/s 크기의 터보 분자 펌프 분야에서 모든 최신 기술을 결합하여 설계되었습니다. 이러한 펌프는 사용자가 서비스할 수 있으며, 진정으로 최상의 솔루션을 보장합니다.
nEXT55 및 nEXT85는 nEXT 제품 중 가장 콤팩트한 제품으로, 높이가 크게 감소하고 더 작은 패키지로 성능이 크게 개선되었습니다. 이 펌프는 질소를 55l/s 및 85l/s의 속도로 펌핑하며, 유사한 크기의 터보 펌프 속도의 거의 두 배에 달하는 펌핑 속도로 동급 최강의 펌핑 밀도를 제공합니다.
nEXT240, nEXT300 및 nEXT400은 수십 년 간의 경험과 검증이 된 Edwards의 EXT 및 STP 제품군을 기초로 연구분야의 터보 분자 펌프에 대한 높은 기준을 수립했습니다. 우리는 이렇게 오랜 기간 확립된 모델을 통해 OEM 기업들과 사용자에게 광범위한 크기와 여러 제품군으로 더 많은 선택권을 제공하고 각자의 필요에 맞게 가장 적합한 진공 솔루션을 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다.
nEXT730 및 nEXT930을 통해 Edwards는 730l/s 및 925l/s 이상의 높은 속도로 질소를 제공하는 두 개의 대형 펌프로 시장을 선도하는 nEXT 플랫폼 제품군으로 확장했습니다. 우리는 이러한 제품 개발을 더 확장하여 질소 펌핑 속도가 1250l/s인 nEXT1230을 포함시켰습니다. 이 소형 펌프는 어떤 방향으로든 작동할 수 있으며 냉각, 환기, 전원 공급 및 제어를 위한 다양한 액세서리로 지원됩니다.
이러한 펌프는 때로 더 빠른 펌핑 속도가 필요한 일반적인 R&D 시장에 대처할 뿐만 아니라, 열 처리, 용광로 작업, Ebeam 용접, 에칭, 이온 임플란트, 가스 제거 및 실린더 배출과 같은 코팅 시장과 기타 분산 시장 부문의 요구 사항을 만족하도록 설계되었습니다.
8만 번 이상의 검증된 nEXT 펌프 생산 방식을 통해 더 까다롭고 새로운 부문 및 응용 분야에 더 높은 펌핑 속도와 유연성을 제공할 수 있게 되었습니다. 이 새로운 모델은 DN ISO/CF 160 및 DN ISO/CF 200의 흡입구 플랜지 옵션을 갖추고 nEXT의 기능을 확장합니다.
| nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| 흡입 플랜지 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN160 ISO-K 또는 DN160-CF | |
| 흡입구 펌핑 속도 ls-1 | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 41 | 61 | 78 | 80/78(D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 27 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| 압축비(D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107(D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
| H2 | 2 x 105/5 x 105(D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
| 압축비(T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | ||||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | |||||
| H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | |||||
| nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
| 메인 흡입구 펌핑 속도 |
|||||||
| N2 ls-1 | 730 | 925 | 1250 | ||||
| He ls-1 | 820 | 905 | 1150 | ||||
| H2 ls-1 | 715 | 735 | 1350 | ||||
| Ar ls-1 | 665 | 865 | 1150 | ||||
| 보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율 | |||||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
| He | 1.2X108 | 1.2X108 | 4 x 108 | ||||
| H2 | 4X106 | 4X106 | 1 x 107 | ||||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
| 최대 압력 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | <5 x 10-10 | ISO-K 및 ISO-F에 대한 높은 압력을 나타냅니다. | |||
| 중량(kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 | 32.6 | 24.9 | 23.7 |
| 최대 속도에서의 처리량: | |||||||
| N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
| He | 21 | 21 | <20 | ||||
| H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
| Ar | 3.5 | 3.5 | 4 | ||||
