Edwards TIC 터보 분자 펌핑 스테이션
TIC 터보 분자 펌핑 스테이션은 펌핑 속도 85 l/s에서 최대 400 l/s인 제품군과 TIC 컨트롤러, 오일 씰 또는 건식 배압 펌프 중 한 가지를 선택하여 제공됩니다.
당사의 모든 TIC 터보 분자 펌핑 스테이션에는 검증된 안정성과 최종 사용자 서비스성을 제공하는 nEXT 분자 펌프가 제공됩니다. 오일 씰 펌프에는 EMF 미스트 필터가 기본으로 장착되어 있으며, nXDS 건식 스크롤 펌프에는 터보 펌프와 보조 펌프 사이에 기본으로 장착되는 차단 밸브가 있습니다.
