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확산(Diffusion) 펌프

확산(Diffusion) 펌프

차세대 고효율 확산(diffusion) 펌프

고도 기술과 요건을 요하는 다양한 산업용 애플리케이션의 이상적인 솔루션이다.

성능 안정성 (Performance Stability)

최적화된 펌핑 속도와 안정적으로 높은 처리량이 유지하여 주요 코팅, 금속공학, 열처리 및 다양한 연구 개발 애플리케이션에서 이상적인 솔루션입니다.

신뢰성 및 향상된 생산성 (Reliability & Productivity)

스마트 온도 제어 및 온보드(on-board) 센서는 히터 및 오일의 수명을 연장하고 부하를 최소화되도록 보장합니다. 비마모성 부품과 교체하기 간편한 히터 카트리지는 서비스와 유지보수 사이의 간격을 연장합니다.

에너지 효율 컨트롤러 (Energy Efficiency Controller)

에너지 효율 컨트롤러를 통해 사용이 더욱 간편하고 작동이 편리하며 USB 및 이더넷 인터페이스를 통해 효과적으로 모니터링할 수 있습니다. 혁신적인 가열 설계 덕분에 예열 시간이 단축되고 최대 30%의 에너지 절약 효과를 얻을 수 있습니다.

기술 사양

    nHT10 nHT16 nHT20 nHT32 nHT35    
    ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI ISO
Inlet connection    10˝ ANSI  320 ISO-K  16˝ ANSI 500 ISO-K 20˝ ANS 630 ISO-K  32” ANSI 800 ISO-F 35˝ ANSI 1000 ISO-F
배압 연결   2˝ ANSI 63 ISO-K 3” ANSI  100 ISO-K 4˝ ANSI 160 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K
Pumping speed*
질소<10-4mbar
l/s 3,000 6,800 10,000  21,000 30,000
펌핑 속도
아르곤 <10-4mbar
l/s 2,750 6,350 9,000 18,000 26,000
Pumping speed
헬륨<10-4mbar
l/s 4,500 9,500 17,000 30,000 42,000
Gas throughput mbar l/s 8 11 17 36 36
작동 범위 mbar < 10-1 to 10-7 < 10-1 to 10-7 < 10-1 to 10-7 <10‐2 to 10‐7 < 10-2 to 10-7
최종 압력
(Edwards 704)
mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7  < 5 x 10-7 < 10‐6  < 10-6
임계 배압
(Edwards 704)
mbar 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1
발열량 kW 3.6 7.2 10.8 21.6 21.6
Heating cartridges 수량 3 6 9 18 18
예열 시간 min < 15 < 15 < 25 < 25 < 25
Weight kg 105  185 210 570 720
Recommended oil   Edwards 704
Oil l 3.0-4.0 3.5-4.5 5.5-7.0 9.0-11.0 9.0-11.0
Recommended holding pump   E2M40 E2M40 E2M40 E2M80 E2M80
Recommended backing pump   nES200, E2M80,
EDS200, EH1200
nES200, E2M175,
EDS200, EH1200 
nES300, E2M175,
EDS300, EH1200
nES630, E2M275,
GXS450, EH2600
nES630, E2M275,
GXS450, EH2600

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