시스템 처리량 및 공정 생산성 향상
광범위한 진공 공정 응용 분야에서 최적의 생산성을 달성하려면 빠른 물 펌핑 속도가 필요합니다.
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS 싱글 스테이지 극저온 펌프는 터보 펌프의 물 펌핑 속도를 크게 높여 전달, 인라인 또는 공정 챔버 응용 분야에서 사용되는 시스템 처리량과 공정 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
또한 빠른 물 펌핑 속도는 많은 진공 공정에서 최종 제품 품질을 향상시켜 전체 수율을 향상시키고 폐기물과 생산 비용 자체를 크게 절감합니다.
On-Board® IS 싱글 스테이지 극저온 펌프는 대부분의 응용 분야 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 구성으로 설계되었습니다. 인라인 및 현장 구성 모두에서 다양한 크기로 제공됩니다.
주요 기능
- 초당 16,000리터 이상의 수증기를 펌핑하여 광범위한 응용 분야에서 공정 품질을 개선하고 주기 시간을 단축합니다.
- 다양한 탄화수소 가스 오염 물질을 펌핑하여 터보 펌프보다 5~10배 더 빠른 오염물질 펌핑 속도를 제공하는 동시에 최종 제품 결함을 줄입니다.
- 로드 록 전달 또는 공정 챔버 사용에서 터보 펌프 수증기 펌핑 속도를 8배 증가시킵니다.
- On-Board® 극저온 펌프 제품군에 비해 매우 낮은 진동
- 밀접하게 결합된 대형 컴프레셔가 필요하지 않기 때문에 최소 설치 공간에서 저비용으로 작동하며 주로 기존 헬륨 시스템과 함께 사용할 수 있습니다.
- 사용자 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기의 인라인 또는 현장 구성에 사용 가능합니다.
- 간편한 설치
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