Edwards CTI-Cryogenics IS 크라이오 펌프 시스템은 혁신적인 고효율 기술을 이용하여 타의 추종을 불허하는 진공 성능과 에너지 효율성을 제공합니다.
특허 받은 분산 제어 시스템은 크라이오 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전체의 진공 성능을 최적으로 유지하여 공정의 일관성을 보장합니다. On-Board IS 크라이오 펌프는 최고의 가동 시간, 최고의 생산성 및 현재 사용 가능한 크라이오 펌프 시스템의 가장 낮은 총 소유 비용을 실현하며, Edwards의 대응성이 뛰어난 글로벌 서비스 및 지원 네트워크를 통해 지원됩니다.
오늘날의 이온 주입 공정의 문제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공하는 동시에 고객이 기대하는 품질, 성능 및 신뢰성을 유지합니다.
On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 응용 분야의 용량을 늘려 공정 투명도를 유지하면서 생산성을 극대화합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대하는 검증된 에너지 효율성, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다.
