On-board IS Cryopumps

혁신적인 극저온 기술로 고효율 달성

비교불가한 진공 성능 및 에너지 효율성

 특허받은 분산 제어 시스템은 극저온 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터하고 전체 시스템의 진공 성능이 최적으로 유지되어 공정이 탁월하게 일관성을 보일 수 있도록 지속적으로 조정합니다. 내장 IS 극저온 펌프는 현재 이용할 수 있는 크라이오 펌프 시스템 중 가장 긴 가동시간, 최고의 생산성, 가장 낮은 전체 보유비용을 전달하며 고객 응대가 뛰어난 Brooks의 글로벌 서비스 및 지원 네트워크의 지원을 받습니다.

주요 특징

 
  • 특허받은 분산 제어 시스템은 극저온 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터하고 지속적으로 조정합니다.
  • 전체 시스템의 진공 성능을 최적으로 유지하여 탁월한 공정 일관성 전달
  • 단일 및 다수의 펌프 구성에서 가장 빠른 재생
  • 진공 성능을 유지하면서 에너지와 냉각수를 적게 소비
  • 쉬운 시스템 통합
  • 빠른 생산 설치
  • 예방 및 예상 유지보수 모두에 강화된 원격 모니터링

On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 오늘날 이온 주입 공정의 어려움을 해결하기 위해 특별히 개발되었으며, On-Board® IS 320FE 크라이오 펌프에서 기대할 수 있는 품질, 성능, 신뢰성과 같은 장점을 유지하면서 강화된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공합니다. 

  • 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
  • 도구 처리량에 최적화됨
  • 똑똑한 '자가 조정' 기술
  • 더 낮은 보유비용
  • 늘어난 가동 시간

 

On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 어플리케이션에 향상된 용량을 제공하여 공정 투명성을 유지하면서 생산성 극대화를 달성합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대할 수 있는 검증된 에너지 효율성, 일관성 있는 성능과 낮은 보유비용을 제공합니다. 

  • 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
  • 더 낮은 보유비용
  • 길어진 가동 시간
  • 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 '자가 조정' 기술