Edwards CTI-Cryogenics IS 크라이오 펌프 시스템은 혁신적인 고효율 기술을 이용하여 타의 추종을 불허하는 진공 성능과 에너지 효율성을 제공합니다.
특허받은 분산 제어 시스템은 극저온 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터하고 전체 시스템의 진공 성능이 최적으로 유지되어 공정이 탁월하게 일관성을 보일 수 있도록 지속적으로 조정합니다. 내장 IS 극저온 펌프는 현재 이용할 수 있는 크라이오 펌프 시스템 중 가장 긴 가동시간, 최고의 생산성, 가장 낮은 전체 보유비용을 전달하며 고객 응대가 뛰어난 Brooks의 글로벌 서비스 및 지원 네트워크의 지원을 받습니다.
On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 오늘날 이온 주입 공정의 어려움을 해결하기 위해 특별히 개발되었으며, On-Board® IS 320FE 크라이오 펌프에서 기대할 수 있는 품질, 성능, 신뢰성과 같은 장점을 유지하면서 강화된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공합니다.
On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 어플리케이션에 향상된 용량을 제공하여 공정 투명성을 유지하면서 생산성 극대화를 달성합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대할 수 있는 검증된 에너지 효율성, 일관성 있는 성능과 낮은 보유비용을 제공합니다.
