On-board Cryopumps - Edwards Vacuum

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통합을 가속화하고 시스템 가동을 개선합니다.

Edwards CTI-Cryogenics On-Board 진공 펌프는 통합을 더욱 빠르게 하고 시스템 가동을 개선합니다. 그리하여 신뢰성과 성능 면에서 세계적인 표준으로 알려져 있습니다.

월등한 가동 시간과 일관성 있는 성능을 자랑하는 On-Board 크라이오 펌프는 컨트롤과 지원 단말이 완전히 통합되어 있으며 월등한 가동 시간을 제공하여 전체 도구 생산성과 가동시간을 제고합니다.

주요 특징

Fast Regen™ 기능으로 재생 간에 크라이오 펌프 성능 연장
동시 재생 기능은 크라이오 펌프 네트워킹으로 구현되며, 전체 시스템 재생 속도를 높입니다.
내장 마이크로프로세서 컨트롤이 성능을 높이고 진단 루틴을 수행하며 통신 기능을 제공합니다.
정교한 소프트웨어와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 성능과 작동이 개선되었습니다.