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Edwards On-board 크라이오 펌프

On-board 크라이오 펌프

신뢰성과 성능의 세계적인 표준

통합을 가속화하고 시스템 가동을 개선합니다.

완전 통합형 컨트롤 및 지원 주변 기기를 갖춘 On-Board 크라이오 펌프는 우수한 가동 시간 및 일관된 성능을 제공하여 전체 공구 생산성과 가동 시간을 향상시킵니다.

 

주요 특징

  • Fast Regen™ 기능으로 재생 간에 크라이오 펌프 성능 연장
  • 동시 재생 기능은 크라이오 펌프 네트워킹으로 구현되며, 전체 시스템 재생 속도 향상
  • 내장 마이크로프로세서 컨트롤이 성능을 높이고 진단 루틴을 수행하며 통신 기능 제공
  • 정교한 소프트웨어와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 성능과 작동이 개선되었습니다.

On-Board 크라이오 모델 4F 8 8F 10 10F 250F 400 500
펌핑 속도 - 리터/초
수증기 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
에어 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
수소 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
아르곤 310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
용량 - 표준 리터
아르곤 210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
수소(5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
공칭 재생 시간(냉간)
첫 번째 및 두 번째 단계 75min 2.5시간 2.5시간 2.5시간 2.5시간 3.3시간 미만 3시간 3.8시간 미만
두 번째 단계 1시간 미만 1시간 미만 1시간 미만 1시간 미만 1시간 미만 1.5시간 미만 1.5시간 미만 -

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