On-board Cryopumps

신뢰성과 성능의 세계적인 표준

통합을 가속화하고 시스템 가동을 개선합니다.

월등한 가동 시간과 일관성 있는 성능을 자랑하는 On-Board 크라이오 펌프는 컨트롤과 지원 단말이 완전히 통합되어 있으며 월등한 가동 시간을 제공하여 전체 도구 생산성과 가동시간을 제고합니다.

주요 특징

 
  • Fast Regen™ 기능으로 재생 간에 크라이오 펌프 성능 연장
  • 동시 재생 기능은 크라이오 펌프 네트워킹으로 구현되며, 전체 시스템 재생 속도를 높입니다.
  • 내장 마이크로프로세서 컨트롤이 성능을 높이고 진단 루틴을 수행하며 통신 기능을 제공합니다.
  • 정교한 소프트웨어와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 성능과 작동이 개선되었습니다.

On-Board cryopumps chart