Edwards Polycold® MaxCool 크라이오칠러는 고진공 시스템에서 잔류 가스의 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포획하는 폐쇄 루프 초저온 냉동 시스템입니다.
이러한 크라이오칠러는 크라이오 코일 또는 쉐브론 배플과 같은 차가운 표면에 냉동시켜 수증기와 기타 응축성 물질을 포획하는 데 사용할 수 있습니다. MaxCool 크라이오칠러는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 정전기 척과 같은 물체를 냉각하고 가열하는 데도 사용됩니다. 제품군의 다양한 모델이 2,000, 2,500 또는 4,000W의 냉각 성능을 제공합니다.
수증기는 일반적으로 고진공 시스템에서 가장 반응성이 높은 오염 물질입니다. MaxCool 크라이오칠러를 사용하면 기존 시스템의 제품 처리량이 20%~100% 증가하고 증착의 품질이 향상될 수 있습니다.
진공 시스템에 추가되면 MaxCool 크라이오칠러는 펌프다운 시간을 크게 줄이고 제품 처리량을 늘릴 수 있습니다. MaxCool은 시작 후 몇 분 이내에 수증기를 펌핑하며 4분 이내에 해동할 수 있으므로, 진정한 빠른 사이클 기능을 제공합니다. 또한 Rapid Cool to Cool이라는 옵션도 있어 해동 후 대기 시간이 없어 교대 시마다 더 많은 생산 주기를 수행할 수 있습니다.
특허 받은 Polycold® 냉매 혼합물을 사용하는 MaxCool 크라이오칠러는 Meissner 트래핑의 원리에 따라 작동합니다. 수증기는 Meissner 코일이라고 하는 극저온으로 냉각된 표면에 응결된 상태로 캡처됩니다. Meissner(크라이오 코일)는 진공 챔버에 직접 장착되어 있어 포트, 매니폴드, 밸브 및 배플에 의해 컨덕턴스가 제한되지 않습니다. 크라이오 코일은 설치가 쉽고 모든 시스템에 맞게 조정할 수 있습니다. 높은 진공 밸브가 필요하지 않습니다.
MaxCool 크라이오칠러는 모든 확산 펌프, 터보 펌프, 헬륨 저온 펌프 시스템에 추가할 수 있는 펌프 가장 비용 효과적인 업그레이드 방법입니다.
MaxCool 크라이오칠러는 유럽 냉배법(EC 1005/2009), 몬트리올 의정서, US EPA SNAP을 준수합니다.
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MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
최대 냉각 용량 |
2,000 W |
2,500 W |
4,000 W |
최대 냉각 용량에서의 온도 |
-111°C |
-120°C |
-98°C |
가장 낮은 온도 |
-142°C |
-145°C |
-133°C |
극한 작동 압력(최대 펌핑 속도의 25%) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
일반적인 저온 트랩 구역 |
1.1 m2 |
1.4 m2 |
2.2 m2 |
일반적인 저온 트랩 구역에서 최대 수증기 펌핑 속도 |
163900l/s |
208600l/s |
327800l/s |
보수적 최대 냉각 트랩 구역* |
1.5 m2 |
2.0 m2 |
2.8 m2 |
전기 소비(대기 모드) |
5.5 kW |
11.4 kW |
12.0 kW |
전기 소비(냉각 모드, 일반 부하) |
6.2 kW |
13.9 kW |
12.4 kW |
전기 소비(냉각 모드, 최대 부하) |
8.8 kW |
19.2 kW |
19.2 kW |
13°C의 냉각수 흐름 |
6.8m³/min |
15.1m³/min |
15.1m³/min |
18°C의 냉각수 흐름 |
9.1m³/min |
18.2m³/min |
18.2m³/min |
24°C의 냉각수 흐름 |
13.6m³/min |
27.3m³/min |
27.3m³/min |
29°C의 냉각수 흐름 |
27.6m³/min |
54.1m³/min |
54.1m³/min |
유럽 PED 준수 |
예 |
예 |
예 |
무독성 냉매 |
예 |
예 |
예 |
비가연성 냉매 |
예 |
예 |
예 |
