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Edwards의 MaxCool 크라이오칠러 제품군

MaxCool 크라이오칠러

Designed to address challenges

진공 수준을 더욱 낮고 빠르게

이러한 크라이오칠러는 크라이오 코일 또는 쉐브론 배플과 같은 차가운 표면에 냉동시켜 수증기와 기타 응축성 물질을 포획하는 데 사용할 수 있습니다. MaxCool 크라이오칠러는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 정전기 척과 같은 물체를 냉각하고 가열하는 데도 사용됩니다. 제품군의 다양한 모델이 2,000, 2,500 또는 4,000W의 냉각 성능을 제공합니다.

수증기 펌핑

수증기는 일반적으로 고진공 시스템에서 가장 반응성이 높은 오염 물질입니다. MaxCool 크라이오칠러를 사용하면 기존 시스템의 제품 처리량이 20%~100% 증가하고 증착의 품질이 향상될 수 있습니다.

MaxCool의 장점

  • 고진공 펌프다운 시간 최대 75% 단축
  • 20%에서 100%로 향상된 제품 처리량
  • 더 높은 품질, 더 나은 접착력, 더 많은 재생산 가능 침전물을 처리하는 동시에 더 낮은 수증기 부분 압력 유지
  • 액체 질소 냉각 Meissner에 비해 월등한 가성비
  • 전력 관리로 보유비용 최소화
  • 다양한 공정에서 대용량으로 냉각 및 가열

Edwards Polycold MaxCool 크라이오칠러

진공 시스템에 추가되면 MaxCool 크라이오칠러는 펌프다운 시간을 크게 줄이고 제품 처리량을 늘릴 수 있습니다. MaxCool은 시작 후 몇 분 이내에 수증기를 펌핑하며 4분 이내에 해동할 수 있으므로, 진정한 빠른 사이클 기능을 제공합니다. 또한 Rapid Cool to Cool이라는 옵션도 있어 해동 후 대기 시간이 없어 교대 시마다 더 많은 생산 주기를 수행할 수 있습니다.
특허 받은 Polycold® 냉매 혼합물을 사용하는 MaxCool 크라이오칠러는 Meissner 트래핑의 원리에 따라 작동합니다. 수증기는 Meissner 코일이라고 하는 극저온으로 냉각된 표면에 응결된 상태로 캡처됩니다. Meissner(크라이오 코일)는 진공 챔버에 직접 장착되어 있어 포트, 매니폴드, 밸브 및 배플에 의해 컨덕턴스가 제한되지 않습니다. 크라이오 코일은 설치가 쉽고 모든 시스템에 맞게 조정할 수 있습니다. 높은 진공 밸브가 필요하지 않습니다.

MaxCool 크라이오칠러는 모든 확산 펌프, 터보 펌프, 헬륨 저온 펌프 시스템에 추가할 수 있는 펌프 가장 비용 효과적인 업그레이드 방법입니다.

MaxCool 크라이오칠러는 유럽 냉배법(EC 1005/2009), 몬트리올 의정서, US EPA SNAP을 준수합니다.

Benefits

  • rapid cool to cool 옵션으로 생산성 향상
  • 전력 관리 옵션으로 보유비용 최소화
  • 온도 관리
  • 세계 기준을 준수하고, 독성이 없는 특허받은 비인화성 친환경 냉매 충전
  • Polycold®를 바탕으로 검증되었으며 혁신적이고 믿을 수 있는 혼합 가스 냉동
  • EU PED 및 MD 준수
  • TUV Rheinland NRTL/CANADA 안전 표준에 등재
  • ISO 9001:2008 인증 제조업체

MaxCool 모델 사양

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

최대 냉각 용량

2,000 W

2,500 W

4,000 W

최대 냉각 용량에서의 온도

-111°C

-120°C

-98°C

가장 낮은 온도

-142°C

-145°C

-133°C

극한 작동 압력(최대 펌핑 속도의 25%)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

일반적인 저온 트랩 구역

1.1 m2

1.4 m2

2.2 m2

일반적인 저온 트랩 구역에서 최대 수증기 펌핑 속도

163900l/s

208600l/s

327800l/s

보수적 최대 냉각 트랩 구역*

1.5 m2

2.0 m2

2.8 m2

전기 소비(대기 모드)

5.5 kW

11.4 kW

12.0 kW

전기 소비(냉각 모드, 일반 부하)

6.2 kW

13.9 kW

12.4 kW

전기 소비(냉각 모드, 최대 부하)

8.8 kW

19.2 kW

19.2 kW

13°C의 냉각수 흐름

6.8m³/min

15.1m³/min

15.1m³/min

18°C의 냉각수 흐름

9.1m³/min

18.2m³/min

18.2m³/min

24°C의 냉각수 흐름

13.6m³/min

27.3m³/min

27.3m³/min

29°C의 냉각수 흐름

27.6m³/min

54.1m³/min

54.1m³/min

유럽 PED 준수

무독성 냉매

비가연성 냉매

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