검사 사각지대 없이 확인하세요.
Edwards 공정 가스 분석기 - 반도체 어플리케이션에서 실시간 공정 제어
iTrap®은 감도가 높은 소형 이온 트랩 푸리에 변환 질량분석기입니다. 이 제품은 공정 분석 및 인라인 공정 제어를 위한 이상적인 공구로 R&D 및 생산 환경에서 이용할 수 있습니다. iTrap은 제품의 미세한 반응 부산물이나 오염을 안정적으로 감지할 수 있도록 지원하여 세척의 효과를 조사하고 챔버 상태를 분석하는 데 도움이 됩니다. 질량 스펙트럼은 거의 실시간으로 측정되며, 공정 챔버에서 매우 적은 양의 분자를 추적할 수 있습니다. iTrap은 연구원이나 공정 개발 엔지니어가 사용할 수 있는 강력한 공구이며 다른 공정 공구 장비에 의해 통합 및 제어되는 지능형 센서로 사용할 수도 있습니다.
Benefits
Edwards iTrap의 확실한 차별점:
- 신속성 | 0.5초 이내의 전체 스펙트럼 실시간 측정
- 감도 | 미량 농도 측정
- 소형화 | 공정 챔버와 통합 가능. 외부 화학물질 소프트웨어 인터페이스 표준화
- 내부식성 | 비활성 표면. 감지기 없음. H2, Cl, F 및 기타 자극성 화학물질에 대한 내구성
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