분석 기기 분야의 Edwards

Analytical Instruments

Proven quality and reliability with leading OEMs

Edwards in collaboration with global analytical instrument manufacturers

Edwards는 폭넓은 기술 포트폴리오와 다양한 공정 노하우를 지원합니다.

Edwards applications and derivatives team

Edwards Applications and Derivative 팀은 여러분에게 필요한 공간, 성능 등의 요건을 맞춘 맞춤별 진공 솔루션을 개발하도록 모델링을 통해 시스템을 구현합니다. 이러한 단계별 파트너십을 기반으로 전력 소비량 감소, 가스 처리량 효율화 등 최고의 솔루션을 이용할 수 있도록 지원하고 있습니다.

1단계: 시스템 조건 정의

귀하의 공정 및 용도에 따른 진공 조건을 알려주십시오.


2단계: TransCalc HSM 모델 제작

Edwards 진공 전문가가 귀하 필요 조건에 대한 솔루션 구상을 시작합니다.

3단계: 시뮬레이션 및 데이터 모델링

시뮬레이션 및 정밀 데이터 모델링을 통해 귀하의 공정과 니즈을 위한 맞춤 솔루션을 선정합니다.

Edwards applications and derivatives team

Edwards Application & Derivatives 팀은 고객에게 최고의 맞춤 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

보조 펌프 터보 분자 펌프 초고진공 펌프
nXDS 건식 스크롤 펌프 nEXT 터보 분자 펌프 TiTan 이온 게터 펌프(IGP)
nXDS 스크롤 펌프는 동급에서 가장 성능이 좋은 펌프로, 전력 소비량이 낮고 6 to mm m3h-1의 펌핑 속도에 소음이 적습니다. nEXT 터보 분자 펌프는 지속적인 성능, 신뢰성, 최종 사용자가 서비스할 수 있는 편의성, 85, 240, 300, 400 l/s 펌핑 속도를 갖추고 있습니다 IGP는 에서 작동하는 10-5 에서 10-12 mbar인 포획 펌프이며 펌핑 속도는 0.2 에서 1200 l/s (N2)입니다.
nXDS 건식 스크롤 펌프 nEXT 스플릿 플로우 티타늄 서블리메이션 펌프(TSP)
XDS 대용량 스크롤 펌프는 다양한 공정에서 적용 가능한 견고한 건식 진공 솔루션으로 35에서 40 m3h-1 까지의 펌핑 스피드를 제고합니다. 맞춤 및 기성 스플릿 플로우 펌프는 다수의 인렛으로 고효율 성능을 제공합니다.  TSP는 진공 상태에서 활성가스를 제거하여 빠르게 펌프 다운을 합니다.  모든 컴포넌트는 400 oC까지의 고온 상태에서 최대 10000 l/s (H2) 펌핑 속도로, 10-5 에서 10-12 mbar까지 환경에서 운영 가능합니다.
RV 및 EM 회전식 베인 펌프 STP 자기부상 터보 분자 펌프 비증발형 게터 펌프
오일씰 로터리 베인 펌프는 작동 시에도 조용하게 0.7에서 38 m3h-1의 펌핑 속도로 탁월한 절대 진공을 제공합니다. STP 자기 부상 터보 분자 펌프는 비접촉식 마그네틱 베어링을 이용하여 진동이 적고 유지 보수 필요성이 적으면서도 신뢰성은 높은 펌핑 속도 300에서 4300 l/s의 제품입니다. NEG는 펌프 다운, 스테이 다운 어플리케이션에 이상적이며 일반적인 펌핑 속도 범위는 50에서 400 l/s이고 NEG 카트리지로 UHV 제품까지 확장 가능합니다.
XDD1 다이아프램 펌프   DIGITAL 컨트롤러
XDD1 펌프는 펌핑 속도가 1.2 m3h-1이며 터보 분자 펌프 백킹용 소형 건식 솔루션에 적합합니다.   유연하면서 구성 변경이 가능한 DIGITEL 컨트롤러는 성능, 전력 및 보호의 올바른 균형을 맞추고 모든 UHV 범위에 사용하기 적절합니다.
Measurement & Control (측정 및 계측 장치)
사용자 사양을 가장 광범위하게 충족할 수 있도록 설계된 모델들로 다양한 게이지 및 컨트롤러가 2000에서 10-13 mbar까지 프레스를 커버합니다. 간단한 다이얼 또는 개선된 마이크로세서 게이지입니다.