Edwards, EdCentra 서브팹 관리 시스템 출시

2017년 7월 12일 (수)

Edwards의 반도체 서비스 사업부 Global Marketing Director인 Geoffrey Stoddart는 "제조 설비 작동을 최적화하기 위해 제조업체들이 채택한 첨단 모니터링 및 데이터 분석 기법 도입하듯이, 동일한 테크닉을 서브팹 작동에 적용하면 큰 이점을 얻을 수 있다."라고 말했다. "예를 들어, 수율에 대한 영향 또는 웨이퍼 공정 중 예상치 못한 진공 고장으로 발생한 손실을 통해 진공 상태가 웨이퍼 품질과 전반적인 fab 비용에 영향을 줄 수 있다. 그러므로 EdCentra는 펌프 성능과 예방적 유지 보수와 관련하여 값진 데이터를 제공하여 도구로 가동 시간 연장할 수 있도록 도와준다."




EdCentra는 FabWorks를 대체하며, 직관적이고 그래픽으로 나타나며 사용자에 맞게 설정이 가능한 인터페이스를 통해  새로운 기능과 개선된 서브팹 관리 역량을 증대한다. 서브팹 장비 관리자, 팹 공정 엔지니어 또는 운영 매니저는 장비 상태에 대해 종합적인 실시간 개요를 손쉽게 마우스 클릭만으로도 개별 기기 수준 정보까지 상세히 조회할 수 있다. 종합적인 내역 추세 분석을 이용하면 다수의 툴과 파라미터에 걸친 추세 비교를 화면상에서 그래픽으로 쉽게 알아볼 수 있고 고장 모드의 근본 원인을 신속하게 분석할 수 있다. 고급 기능으로도 더욱 상세한 기능이 있다: 파라미터 임계점 모니터링 및 예측 유지 보수 / 특정 공정에 대한 모니터링 / 환경 기반 유지 보수 및 유지 보수 풀링




EdCentra는 새로운 시장과 고객 요건을 빠르게 적용하고, 신규 및 중요 서브팹 장비 모니터링 추세를 매끄럽게 추가하는 것을 목표로 설계되었다. 이 시스템은 새로운 유형의 데이터베이스, 통신 프로토콜 및 데이터 관리 생태계를 예측할 수 있다.




Stoddart는 "EdCentra는 미래를 위해 준비된 플랫폼입니다. 이 시스템은 우리 글로벌 장비와 프로세스 노하우를 포괄하고 있으며, 모니터링과 고급 진단 그리고 예측 역량을 통해 고객들이 서브팹 인프라가 일관된 공정 및 산출 성능을 전달할 준비가 되었다고 안심할 수 있도록 한다."라고 덧붙였다.

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