시스템의 가스 부하에는 다양한 요소가 기여합니다. 압력이 0.1mbar 미만일 때 가장 영향력이 강한 요소는 '탈기'입니다. 탈기는 이전에 흡수된 분자의 탈착, 대량 확산, 투과 및 기화의 결과입니다. 흡착은 물리 흡착과 화학 흡착이라는 두 가지 주요 과정을 통해 발생하며 5가지(또는 6가지) 등급의 등온으로 기술할 수 있습니다.
탈착 속도, 펌핑 속도 및 표면 재흡착을 확인하면 시스템의 순 탈기를 계산할 수 있습니다.
다이어그램 1에서 알 수 있듯이, 시스템의 가스 부하에 기여하는 요소는 다음에서 제공될 수 있습니다.
공정 부하가 없는 고진공(HV) 누출 방지 시스템의 경우, 탈기는 가스 부하에 100%까지 기여할 수 있습니다.
다이어그램 1: 진공 시스템에서의 가스 부하
가스 부하에 대한 다양한 가스 종류의 상대적 기여는 압력에 따라 달라집니다. 많은 HV 작업 분야에서는 수증기가 탈기와 관련한 가장 중요한 문제입니다. 그러나 모든 금속 시스템에서의 UHV 달성에는 H2 탈기가 중요합니다.
아래 표에는 다양한 압력에서의 일반적인 주요 가스 부하가 나와 있습니다.
압력(mbar) |
주요 가스 부하 |
대기 |
공기(N2, O2, H2O, Ar, CO2) |
10-3 |
수증기(75~95%), N2, O2 |
10-6 |
H2O, CO, CO2, N2 |
10-9 |
CO, H2, CO2, H2O |
10-10 |
H2, CO |
10-11 |
H2, CO |
각 요소가 탈기에 기여하는 정도는 가스와 표면 물질의 조성(및 그 이력)에 따라 달라집니다. 탈기 비율은 이러한 기여 요소의 총합입니다.
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